판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9182694

ULTRATECH 1500은 통합 회로 (IC) 제조에 대한 기판 처리의 정확성, 처리량, 복잡성을 최적화하기 위해 특별히 설계된 차세대 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치는 고급 동적 동작 제어 (Dynamic Motion Control) 를 사용하여 기판의 지형을 정확하게 스캔, 정렬 및 포커스화하여 결과 웨이퍼의 결함 수준을 줄입니다. 정밀 초점 및 동작 제어를 위해 6 축 동적으로 튜닝 된 공기 베어링을 갖추고 있으며, 해상도 1äm 이상으로 약 2äm의 패턴 배치 정확도를 제공 할 수 있습니다. 이 장치는 정밀 스테퍼 모터 (stepper motor) 와 종합적인 이미징, 패턴화, 석판화 기능으로 반도체 개발을 발전시키기 위해 설계되었습니다. 자동 스캐닝 (auto-scanning) 스캐닝 기능을 사용하여 웨이퍼 결함을 신속하게 감지하고 해결하여 더 높은 수준의 웨이퍼 정확도를 보장합니다. 모터는 최대 처리량을 위해 최대 속도 250mm/sec로 작동합니다. 스테퍼에 대한 빠른 액세스를 위해 1500 번에는 대규모 자동 로드/전송 시스템이 장착되어 있습니다. ULTRATECH 1500은 자동화된 웨이퍼 정렬 (Automated Wafer Alignment), 자동 교육 (Auto-teaching) 등 다양한 사용자 친화적 기능으로 설계되어, 작동이 쉽고 설치 시간이 크게 단축됩니다. 초고속 (Ultra Speed) 정렬 기능으로 미세 결함 및 다각형 패턴을 분류하고 처리할 수 있으며 처리량을 극대화할 수 있습니다. 패턴 라이브러리를 사용하면 사용자 정의 패턴을 빠르고 정확하게 생성할 수 있습니다. 이 장치는 또한 최고 수준의 기판 조닝 (zoning), 품질 관리 및 균일성을 위해 설계되었습니다. 정교한 광학 단파 정렬 시스템, 사용자 정의 가능한 이미지 패러메트릭, 특허를 받은 EMS (Exposure Measurement System) 가 장착되어 있어 다양한 노출 수준으로 중요한 노출 프로세스를 측정합니다. 또한, 1500 은 최고의 웨이퍼 스케줄링 효율성을 보장하기 위해 이중화 (redundancy) 체계를 갖추고 있습니다. 결론적으로, ULTRATECH 1500은 반도체 개발에서 최대 정확도, 처리량, 복잡성을 얻도록 설계된 프리미엄 웨이퍼 스테퍼입니다. 정확한 동작 제어, 이미지 패라메트릭, 패턴 라이브러리, 최적화된 기판 조닝 (zoning) 을 통해 IC 제작에서 정밀도 및 품질 제어가 향상되었습니다.