판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9174373

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ULTRATECH 1500
판매
ID: 9174373
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1993
Wafer stepper, 6" i-Lline UV light lens 1993 vintage.
ULTRATECH 1500은 칩 제조에 사용되는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 포토 마스크 (photomask) 에서 웨이퍼 (wafer) 로 패턴을 전송하고 리소그래피 프로세스에서 다른 노출 및 에치 관련 단계를 수행하는 데 사용됩니다. 1500은 0.25mm/sec ~ 250mm/sec의 넓은 스캔 속도 범위를 제공합니다. 이는 높은 처리량과 짧은 노출 시간에 적합합니다. 각 스캔은 420mm x 485mm의 넓은 작업 영역과 함께 정확하고 반복 가능한 위치를 제공하는 마이크로 스테핑 모터에 의해 제어됩니다. "스캐너 '는 또한 기계 에" 웨이퍼' 를 정확 하게 배치 할 수 있도록 자동화 된 "웨이퍼 '정렬" 시스템' 과 단계 간 에 "웨이퍼 '를 쉽게 이동 시킬 수 있는 자동" 웨이퍼' 처리 "시스템 '을 갖추고 있다. 이 장치에는 높은 정확도를 보장하기 위해 고급 정렬 (Advanced Alignment) 기능과 수정 (Correction) 기능이 모두 포함되어 있으며, 이는 중요한 노출 및 리소그래피 프로세스에 필수적입니다. 스캔 라인 조정 (scan-line adjustment) 및 사전 설정 소프트웨어 알고리즘 (preset software algorithm) 과 같은 고급 수정 기능을 사용하여 시스템을 자체 보정 및 세밀하게 조정하여 성능을 최적화할 수 있습니다. ULTRATECH 1500은 또한 내부 평평, 정렬 및 노출 패닝을 포함한 고급 백사이드 이미징 기능을 제공합니다. 1500 은 효율성이 높고, 안정적이며, 사용자 친화적이며, 고급 기능은 빠른 처리 시간 및 높은 수율을 보장합니다. 또한 먼지, 화학 물질 및 기타 잔해로부터 민감한 성분을 보호하기 위해 비활성 주변 환경 (inert ambient environment) 과 질소 제거 인클로저 (enclosure) 가 장착되어 있습니다. 전반적으로 ULTRATECH 1500은 최첨단 기능과 성능을 제공하는 최고 수준의 웨이퍼 스테퍼입니다. 견고한 설계, 고급 기능, 안정적인 작동을 통해 칩 제작, 특히 시간과 정확도가 최우선 과제 인 경우에 이상적인 선택이 됩니다.
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