판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9098778

ULTRATECH 1500은 반도체 산업에서 높은 처리량 리소그래피 요구 사항을 위해 개발 된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 최신 연락처 (Contact Aligner) 기술을 활용하여 반복 가능한 정밀도 및 균일성을 갖춘 고해상도 이미지를 생성합니다. 고급 해상도 기능을 통해 제조업체는 더 작은 선 너비와 더 엄격한 정렬 공차를 달성 할 수 있습니다. 1500 의 정렬기 (aligner) 기술을 통해 사용자는 원하는 위치에서 정렬 (alignment) 로봇의 지정된 시작 지점으로 wafer 를 빠르고 쉽게 이동할 수 있습니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 또한 모든 정렬 목표가 일관된 정확도로 충족되도록 해주는 고해상도 간섭 패턴 인식 장비를 갖추고 있습니다. 빠르고 쉽게 조절 가능한 단계 크기를 통해 사용자는 정확성을 그대로 유지하면서 여러 필드를 정확하게 넘을 수 있습니다. 또한 유연한 스테이지 및 모터 구성을 통해 수평, 수직, 회전 동작을 수행할 수 있습니다. 따라서 사용자는 단일 머신 사이클에서 전체 웨이퍼 서피스를 스캔할 수 있습니다. 또한, 이 스테퍼는 고급 패턴화 기능을 제공하여 단순한 모션 명령으로 매우 정교한 석판화 (lithographic) 패턴을 생성할 수 있습니다. 또한 ULTRATECH 1500은 사용자에게 향상된 유연성과 쉽게 교환 가능한 부품의 편리성을 제공합니다. 모듈식 설계 및 프로그래밍 가능한 제어 장치 (Control Unit) 를 통해 엔지니어는 응용 프로그램 요구에 맞게 시스템을 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 사용이 간편한 직관적인 GUI (그래픽 인터페이스) 를 제공하여 빠르고 오류가 없는 설정 및 작동을 가능하게 합니다. 또한 1500 은 고급 습식 (advanced wet) 식각 기술을 활용하여 높은 화면 비율의 설계를 달성할 수 있습니다. 따라서 패턴 유연성이 향상되고 프로세스 제어가 향상됩니다. 업그레이드된 광 장치 (optical unit) 를 통해 스테퍼는 패턴 충실도 향상을 위해 최대 0.7 미크론 해상도를 달성 할 수 있습니다. 또한 이 기계는 제조 프로세스 (fabrication process) 를 시작하기 전에 잠재적 오류를 감지하고 플래그를 지정할 수 있는 고급 패턴 확인 (pattern verification) 기술을 제공합니다. 전반적으로 ULTRATECH 1500은 높은 처리량 리소그래피와 뛰어난 다용성을 보장하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 기능과 고급 습식 (Advanced Wet) 식각 기술을 통해 가장 정밀하고 복잡한 패턴을 얻을 수 있습니다.