판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9098777

ULTRATECH 1500
ID: 9098777
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1999
Stepper, 6" Currently de-installed 1999 vintage.
ULTRATECH 1500 웨이퍼 스테퍼는 반도체 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 고효율의 고정밀 기계입니다. 첨단 광학 및 이미징 기술로 고해상도 포토 마스크 (photomask) 와 웨이퍼 리소그래피 (wafer lithography) 를 생산할 수 있으며, 정확도는 0.5m입니다. 이 머신은 6 인치 모션 스테이지, 멀티 축 모터 및 렌즈 드라이브 장비, 자동 정렬 시스템, 통합 프레임 및 스테이지 어셈블리 등 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 이러한 기능은 모두 위치 오류, 마스크 변경에 필요한 시간, 기타 설정 작업을 대폭 줄입니다. 정확도를 더욱 높이기 위해 1500에는 2D 레이저 자동 초점 장치 (2D laser auto-focus unit) 가 장착되어 있어 각 웨이퍼가 통과 할 때 빔에 집중되어 있습니다. 또한, 스테퍼는 특허를받은 고해상도 다크 필드 이미징 머신 (Dark Field Imaging Machine) 을 특징으로하며, 이는 웨이퍼 표면의 지형을 정확하게 캡처합니다. 이렇게 하면 줄무늬 (streaking) 의 위험을 줄일 수 있고, 사용자가 신속하게 서피스를 찾고, 레티클을 필요없이 대상 위치를 찾을 수 있습니다. ULTRATECH 1500에는 왜곡 광학 (low-distortion optics) 과 다양한 리소그래피 작업을 수행하는 데 사용할 수있는 고급 다용도 광원이 있습니다. 이 기계 는 또한 "웨이퍼 '수송 및 가공 을 위한 통합 된 도구 를 갖추고 있는데, 이것 은 모든" 웨이퍼' 가 정확 하고 균일 하게 노출 되도록 보장 해 준다. 마지막으로, 1500 은 사용자 친화적 인터페이스를 자랑하며, 운영자가 자산 설정을 빠르고 쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있게 해 줍니다. 이 고급 웨이퍼 스테퍼는 신뢰성이 높고, 유연하며, 정확하며, 가장 까다로운 반도체 어플리케이션을 위한 다양한 기능을 사용자에게 제공합니다.
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