판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9098757

ULTRATECH 1500
ID: 9098757
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2000
Stepper, 6" Currently de-installed 2000 vintage.
ULTRATECH 1500은 ULTRATECH가 개발 한 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 1500 웨이퍼 스테퍼에는 고해상도, 5 축 정렬 장비가 있으며, 이는 나노미터 스케일 해상도에서도 최고의 정확도와 제어를 제공합니다. 이 고급 시스템은 microelectronics 및 photolithography 분야의 응용 분야에 적합합니다. ULTRATECH 1500의 최대 XY 이동은 거의 450mm이며 Z축은 최대 30mm까지 조정 할 수 있습니다. 또한 스테퍼에는 CCD (내장 CCD) 옵티컬 프로파일러 (Optical Profiler) 가 내장되어 있어 가장 까다로운 어플리케이션을 위해 웨이퍼 표면을 정확하게 이미징할 수 있습니다. 1500은 반도체 웨이퍼에 리소그래피 패턴을 정확하고 정확하게 에칭하는 데 사용될 수 있습니다. 스테퍼의 5축 정렬 장치 (5-axis alignment unit) 는 패턴의 미세한 세부내용이 웨이퍼 서피스에서 올바르게 전송되고 에칭되도록 합니다. ULTRATECH 1500은 안정성이 뛰어나며, 닫힌 루프 위치 피드백 및 보호 케이스와 같은 기능을 제공합니다. 또한, 1500 은 사용자가 설치하기 매우 쉽고, 기존의 모든 Automation Machine 에 통합될 수 있습니다. 울트라텍 (ULTRATECH) 1500 이미징 기능은 반사 이미징 및 전송 이미징에 모두 사용할 수 있으므로 인상적입니다. 이를 통해 다양한 이미징 작업 간에 간단하고 빠르게 전환할 수 있습니다. 스테퍼는 또한 기존의 광학에서 고급 광학 (예: 위상 시프터) 에 이르기까지 다양한 이미징 광학을 가지고 있습니다. 또한 1500 은 광범위한 진단 툴을 통해 와퍼가 정확한 양의 UV 조명에 제대로 노출되도록 합니다 (영문). 전반적으로 ULTRATECH 1500은 마이크로 일렉트로닉스 전문가를위한 필수품 인 최첨단 스테퍼입니다. 광범위한 이미징/정렬 기능과 더불어, 최고의 정확성과 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 1500 년은 가장 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼 중 하나이며 다양한 고정밀 마이크로 일렉트로닉스 (high-precision microelectronics) 및 사진 해설학 (photolithography) 작업에 이상적입니다.
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