판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9098755

ULTRATECH 1500은 반도체 장비 및 공정 제어 솔루션 업계의 선두 주자인 ULTRATECH가 개발한 최고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 독점적 인 2 단계 프로세스를 특징으로하는이 스테퍼는 고급 반도체 소자 구조의 빠르고 정확한 석판화 (lithographic patterning) 를 가능하게하도록 설계되었습니다. 또한 1500 은 디바이스 제작을 보다 쉽고 효율적으로 수행할 수 있는 다양한 고급 기능을 제공합니다 (영문). ULTRATECH 1500의 2 단계 과정은 웨이퍼에 쿼츠 레티클 (quartz reticle) 을 박탈 한 것으로 시작됩니다. 레티클에는 마스터 패턴 (master pattern) 이 포함되어 있으며, 이 패턴은 웨이퍼를 자외선에 노출시켜 서브 패턴 (sub-pattern) 배열로 변환됩니다. 자외선 (UV light) 은 패턴 크기의 범위를 확장하는 쿼츠 광학 마스크를 통과합니다. 이 과정의 두 번째 단계는 건조 또는 습식 에칭 (wet etching) 을 통해 패턴을 웨이퍼 (wafer) 로 옮기거나 장치의 직접 쓰기 (direct-write) 작업을 통해 여러 집중된 이온 빔 배열의 도움을 받아 고해상도 패턴화를 가능하게합니다. 1500은 또한 VKI (Full Range Vacuum Kinetic Indexer) 와 같은 다양한 고급 기능을 갖추고 있으며, 이를 통해 동작 범위가 향상되고 정확도가 향상됩니다. 또한 스테퍼에는 온보드 교정 모듈이 있습니다. 온보드 교정 모듈은 광학 경로 (초점, 수차) 를 측정하고 최적화된 리소그래피 (lithography) 를 위해 고해상도 실시간 피드백을 제공합니다. ULTRATECH 1500에 통합 된 안전 기능에는 자외선 안전 인터 록 (Safety Interlock), 자동 출시 기능 및 대피/항공 공급 안전 모듈이 포함됩니다. 또한 인체 공학적 (ergonomic) 설계를 통해 제품 설치 및 작동을 단순화하는 통합 터치스크린 인터페이스를 통해 향상된 운영자 경험을 제공합니다. 합쳐서, 1500은 정교한 반도체 장치의 제작을위한 고급, 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 독점적 인 2 단계 프로세스는 노출 시간을 최소화하고 정확한 석판 패턴 (< em >, </em >) 을 허용하는 반면, 고급 기능의 배열은 사용자에게 향상된 운영자 경험과 향상된 효율성 및 안전성을 제공합니다.