판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9098751

ULTRATECH 1500은 ULTRATECH Inc.에서 제조 한 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 현대 반도체 제조 공정에 사용되는 photolithography 시스템의 중요한 구성 요소입니다. 광원, 광학, 스테이지 스캐닝 (stage scanning), 검출기 (detector) 를 포함하는 일련의 단계를 통해 photomask에서 생성 된 패턴을 반도체 기판으로 정확하게 전달합니다. 1500은 서브 마이크론 패턴 및 오버레이 기능에 대한 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 스텝퍼 (stepper) 작동을 위한 뛰어난 모션 컨트롤과 고속 패턴화를 위한 탁월한 선형성을 제공하는 선형 모터 (linear motor) 설계를 기반으로합니다. ULTRATECH 1500에는 노출 과정에서 패턴 전송 정확도와 안정성을 최적화하기 위해 옵토 (opto) 기계식 시스템이 장착되어 있습니다. 높은 수치 조리개 (aperture) 를 갖춘 고급 마이크로 렌즈 어레이 (micrelens array) 설계를 통해 좁은 선과 작은 기능에 빛을 집중시킬 수 있습니다. 또한 1500은 향상된 현장 균일성과 빠른 스캔 속도를 통해 높은 생산성을 제공합니다. 기하학적 왜곡 및 광학적 수차 (optical 수차) 를 줄여 깨끗하고 예리한 패턴 모서리를 보장하는 독특한 광학 설계를 사용합니다. 또한 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 은 스테퍼 노출 주기 전반에 걸쳐 뛰어난 이미지 품질, 패턴 균일성, 오버레이 제어를 보장합니다. ULTRATECH 1500은 온보드 소프트웨어 (On-Board Software) 와 같은 사용자 친화적 (User-Friendly) 기능이 향상되어 물리적 인터페이스 없이 스테퍼 작업을 원격으로 제어할 수 있도록 설계되었습니다. 이 기능은 중요한 photolithography 응용 프로그램에 매우 적합하며 설치 시간을 단축합니다. 또한, 내장 모터 제어 장치 (motor control unit) 는 모터 제어를 향상시켜 더 빠르고, 부드럽고, 더 정확한 성능을 제공합니다. 레이저 간섭계 정렬 (laser interferometric alignment) 과 같은 고급 기능을 완전히 사용함으로써 1500은 정확하고 반복 가능한 나노미터 스케일 패턴을 제공 할 수 있습니다. ULTRATECH 1500은 반도체 웨이퍼 사진 해설에 적합한 선택입니다. 고도로 정확한 스테이지 성능과 고급 옵티컬 디자인 (Optical Design) 을 통해 고품질, 비용 효율적인 웨이퍼 포토리토그래피 (Wafer Photolithography) 제품을 생산할 수 있는 귀중한 도구입니다.