판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9098747

ULTRATECH 1500 웨이퍼 스테퍼는 생산 수준 반도체 장치 제작을 위해 설계된 광학 석판화 장비입니다. 이 스테퍼는 초고강도 UV 레이저 (UV Laser) 와 레이저 광학 (Optic) 을 사용하여 웨이퍼 (Wafer) 에 패턴을 투사합니다. 1500은 소형화된 메모리 장치, 평면 패널 디스플레이, 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 부품 등과 같은 다양한 최종 용도에 적합합니다. ULTRATECH 1500은 고급 광학 이미징 기술을 사용하여 고속 차원의 정확성과 안정성을 제공합니다. 초단파 펄스 레이저 광학 시스템은 85 나노 초의 노출 시간에서 최대 400 마이크로 미터로 패턴을 투영 할 수 있습니다. 레이저 광학은 355 nm의 파장에서 UV 광선을 사용하여 뛰어난 해상도와 정확도를 제공합니다. 또한 1500 은 최대 360mm/sec 속도의 6 축 스캔 플랫폼을 통해 고속 웨이퍼 처리를 지원합니다. ULTRATECH 1500은 처리량을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 단일 단계 웨이퍼 로드 (wafer loading) 및 언로드 장치 (unloading unit) 의 고유한 기능은 추가 처리가 필요 없으며 정렬 정확도가 높아져 수율이 향상됩니다. 또한, 기계는 이중 암 자동 조절 (dual arm autostage) 을 사용하여 생산 중 웨이퍼를 빠르게 변경할 수 있습니다. 1500은 유지 관리 및 수리가 쉽습니다. 자동 유지 관리 기능 (클리닝, 교정, 정렬 포함) 을 통해 도구의 안정성을 보장하고 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 또한, 고급 진단 기능을 통해 문제를 효율적으로 감지하고 수정할 수 있습니다. 전반적으로 ULTRATECH 1500은 생산 수준 반도체 장치 제조에 이상적인 플랫폼입니다. 빠른 속도, 높은 정확도, 간편한 유지 관리를 통해 안정적이고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 인상적인 기능을 갖춘 1500 은 반도체 업계의 고성능 프로세스에 필수적인 툴입니다 (영문).