판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9098746

ULTRATECH 1500
ID: 9098746
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1994
Stepper, 6" Currently de-installed 1994 vintage.
ULTRATECH 1500 (ULTRATECH 1500) 은 제조업체가 더 높은 수율로 정밀 마이크로 장치를 생산할 수 있도록 지원하는 고성능 고급 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 이 제품은 웨이퍼 (wafer) 제조 장비의 업계 표준이며, 집적 회로 장치, MEMS, 박막 및 기타 마이크로 전자 부품을 생산하는 데 사용됩니다. 1500 시스템은 최대 20 인치 x 20 인치의 넓은 노출 영역과 최대 1 미크론의 정렬 정확도를 허용하는 높은 정확도 정렬 단계를 갖추고 있습니다. 이 장치에는 248nm에서 384nm까지 KrF 또는 ArF 리소그래피 소스를 선택할 수 있습니다. 또한 일관된 해상도, 비교할 수없는 패턴 균일성 및 다양한 조명 옵션을 제공하는 WSCAN 기술이 통합되었습니다. 또한 ULTRATECH 1500은 컴퓨터 제어 웨이퍼 처리 장치 (Wafer Handling Machine) 와 자동 포커스 모니터 (Focus Monitor) 를 포함한 최신 자동화 도구를 사용합니다. "필름 '과 기타 기판 들 의 경우, 그 자동화 된" 웨이퍼' "프로베르 '는 상당 한 높이 의 변화 가 있어도 정확 한 위치 를 보장 해 준다. 또한, 1500 도구는 고해상도 CCD 카메라, 독점 이미지 개선 알고리즘을 포함한 최신 이미징 기술을 사용하여 이미지를 검사하거나 개발에 저항합니다. 또한 필름 두께를 측정하고 결함을 찾을 수있는 내장 도량형 에셋이 특징입니다. 마지막으로, ULTRATECH 1500 (ULTRATECH 1500) 은 신뢰할 수 있는 모델로, 운영자와 환경을 위험으로부터 보호하기 위해 다양한 우수한 안전 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 시스템이 비정상적으로 높은 온도, 발광 (light leaks) 또는 기타 위험 조건을 감지할 때 자동 장비 차단 (automatic equipment shut off) 이 포함됩니다. 전체적으로, 1500은 제조업체에 신뢰할 수 있고, 정확하고, 정확한 결과를 제공하는 고급 웨이퍼 스테퍼 장치입니다. 대용량 (large exposure) 영역과 다양한 자동 (automated) 기능을 갖춘 이 제품은 수율이 높은 마이크로 장치 (micro-devices) 를 생산할 수 있는 업계에서 가장 강력하고 안정적인 기계입니다.
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