판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9098742

ULTRATECH 1500
ID: 9098742
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2000
Stepper, 6" Currently de-installed 2000 vintage.
ULTRATECH 1500 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 집적 회로 부품을 웨이퍼 표면에 인쇄, 검사 및 노출하는 데 사용되는 고정밀 컴퓨터 제어 기계입니다. 이 "머신 '은 재래식" 셋업' 의 한계 를 훨씬 뛰어넘는 정확도 로 인쇄 할 수 있어서, 극히 정확 하게 회로 요소 를 배치 할 수 있다. 1500은 엑시머 레이저 (Excimer laser) 와 같은 고출력 소스를 사용하여 0.1 미크론 크기의 피쳐를 선택적으로 노출시킵니다. 스테핑 오류를 크게 줄여주는 인코더 안정화 된 2 축 단계, 레이저 초점 제어를위한 특수 설계 된 고해상도 Z 단계 (Z-stage) 가 특징입니다. 스테퍼의 소프트웨어 패키지를 사용하면 인쇄 프로세스를 정확하게 제어할 수 있으며, 이 패키지에는 정교한 정렬 (alignment) 및 편집 (editing) 기능이 포함됩니다. 여기에는 웨이퍼 표면에 레이저 빔의 자동 초점을 +/- 0.01 미크론 (+/- 0.01 micron) 으로 자동 포커싱할 수있는 정확한 자동 초점 메커니즘이 포함됩니다. ULTRATECH 1500의 가장 중요한 기능은 독특한 이미지 중심 장비입니다. 이 시스템은 MEMS 시스템과 고급 레이저 광학 (Advanced Laser Optic) 의 조합을 사용하여 각 이미지를 웨이퍼에 정확하게 중앙에 배치하여 수동 중심이 필요하지 않습니다. 1500은 ULTRATECH VPS (Versatile Processing Unit) 와 함께 작동하도록 설계되어 여러 레이어의 인쇄 회로를 유연하게 배치할 수 있습니다. 이 기계는 에칭 (etching), 스퍼터링 (sputtering), 이온 이식 (ion-implantation) 등 여러 가지 유형의 자동 표면 처리 시스템을 통합 할 수 있습니다. ULTRATECH 1500은 반복 정확성을 위해 특별히 설계되어 대량 생산에 이상적입니다. 뛰어난 속도와 정확성으로 인해 상당한 처리량을 필요로 하는 고정밀도 (High-Precision) 어플리케이션을 완벽하게 선택할 수 있습니다. 또한, 1500 은 자체 진단 툴을 갖추고 있어 조정이나 교정이 필요할 때 연산자를 감지하고 프롬프트 (prompt) 할 수 있습니다. 전반적으로 ULTRATECH 1500은 고급 웨이퍼 스테퍼로, 매우 정확하고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 제품은 다양한 크기, 구성, 가격대로 공급되며, 반도체 생산에 이상적인 솔루션입니다.
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