판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9050208
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ULTRATECH 1500은 정밀 마스크 리소그래피, 직접 쓰기 리소그래피, 레이저 어닐링 (laser annealing) 및 기타 관련 응용 프로그램을위한 정확하고, 큰 시야와 고급 기능을 제공하는 웨이퍼 스테퍼입니다. 고해상도, 디지털 이미징 기능, 높이 조절 가능한 단계를 통해 + - 35 ° 기울기 (tilt) 를 허용하는 1500은 다양한 사진 촬영 프로세스에 매우 정확하고 안정적인 도구입니다. 울트라텍 1500 (ULTRATECH 1500) 은 생산 과정에서 교환할 수 있는 두 개의 별도 광학 어셈블리 (Optical Assembly) 를 장착하여 운영 시간이나 비용을 추가하지 않고도 운영 간 신속한 변경을 가능하게 합니다. 사용할 수 있는 두 개의 광 어셈블리는 사분면 터렛과 특수 요소입니다. 작업 거리가 긴 사분면 터릿 (Quadrant Turret) 은 45 ° 각도 범위를 제공하여 큰 단계 또는 여러 개체 또는 패턴을 사용하여 정확한 배치 및 정렬을 요구하는 프로젝트에 이상적입니다. 작업 거리가 더 짧은 특수 요소 (Special Element) 광학 어셈블리는 대용량 생산을 위해 가변 회절 격자, 동적 패턴, 고속 작성을 위해 구성할 수 있습니다. 1500 년에는 정확하고 정확한 다중 요소 패턴을 위해 정확한 선형 모션을 생성 할 수있는 프로그래밍 가능한 고급 모터 드라이브 시스템 (advanced motor-drive system) 이 있습니다. 특허 받은 노출 제어 시스템 (Exposure Control System) 을 통해, ULTRATECH 1500은 광범위한 조건에서 높은 처리량과 뛰어난 이미지 반복성을 얻을 수 있습니다. 또한, 정교한 카메라 기반 시스템을 통합하여 고해상도 이미징 및 탁월한 사용자 정의 옵션을 제공합니다. 하드웨어 기능 외에도, 1500 소프트웨어는 설치 매개변수를 고급 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 즉, 전용 네트워킹 기능과 결합하여, 데이터를 신속하게 액세스하고, 조정하고, 도구 기능을 원격으로 제어하여 가동 중지 시간을 줄이고, 생산성을 높일 수 있습니다. 울트라텍 1500 (ULTRATECH 1500) 은 고급 기능 (Advanced Features) 과 기능 외에도, 도구가 손상되지 않도록 특별히 설계된 다양한 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능에는 오류 또는 비상 사태의 경우 경보 알림이 있는 자동 종료 기능 (Auto-Shutdown Capability with Alarm Notification), 임계 부품의 온도 모니터링, 정전 시 자동 전원 차단 (Automatic Power Shut) 등이 있습니다. 전체적으로, 1500은 매우 정밀하고 고해상도 웨이퍼 스테퍼로, 고해상도 마스크 리소그래피, 직접 쓰기 리소그래피, 레이저 어닐링 (laser annealing) 및 기타 관련 프로세스에 이상적인 다양한 기능과 기능을 제공합니다.
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