판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9019700

울트라 테크 1500 (ULTRATECH 1500) 은 반도체 제조의 정확한 장치 배치 요구를 충족시키기 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 스테퍼는 고급 전자 빔 (e-beam) 리소그래피 도구를 사용하여 빠른 처리율로 높은 정렬 정확성과 반복 성을 제공합니다. 이 장비는 고가속 선형 모터 스테이지 (Linear Motor Stage) 를 갖추고 있어 높은 해상도와 반복 가능한 정확도를 유지하면서 짧은 스캔 시간을 제공합니다. 1500은 또한 ULTRATECH 독점 Saber ™ 정렬 시스템을 사용하여 어려운 처리량 요구 사항을 충족하면서 정확한 x-y 정렬을 보장합니다. ULTRATECH 1500에는 해상도가 1-2 nm 인 M4K 전자 빔 기둥과 450mm x 450mm의 필드 크기가 있습니다. 이 단일 e- 빔 열은 40nm 이하의 석판 구조를 일관되게 생성 할 수 있습니다. 처리량을 더 늘리고 처리 시간을 줄이기 위해 스테퍼는 또한 자체 교정 장치 (self-calibrating unit) 를 제공합니다. 이 기계는 M4K e-beam 열을 자동으로 조정하고 다음 노출 전에 각 작업 후에 "tuning" 작업을 수행합니다. 1500은 센서리스 (sensorless) 정렬, 가상 정렬 및 초점 측정을 통합하여 높은 배치 정확도와 처리량을 달성하는 완전 통합 폐쇄 루프 (closed-loop) 웨이퍼 처리 도구를 사용합니다. 전용 임베디드 정렬 도구 (embedded alignment tools) 를 사용하여 스테퍼는 웨이퍼를 알려진 참조에 자체 정렬하여 처리량을 줄일 수 있는 수동 정렬 프로세스를 제거합니다. 폐쇄 루프 (closed-loop) 자산은 인라인 초점 수정, 자동 웨이퍼 정렬 및 저렴한 마스크 변경을 용이하게 합니다. ULTRATECH 1500 은 매우 뛰어난 구성성을 갖추고 있으며, 고유한 운영 요구 사항에 맞게 성능을 사용자 정의할 수 있는 몇 가지 옵션을 제공합니다. 제공되는 옵션에는 듀얼 e-빔 열, 초대형 필드 옵션, SubSaber ™ 하위 샘플링 및 정렬이 포함됩니다. 또한 EPP (Enhanced Performance Platform) 를 사용할 수 있어 스캔 시간을 줄이고 해상도와 정확도를 높일 수 있습니다. 또한 1500 은 신뢰성이 높고 견고하여 견고한 처리량 (Throughput) 품질을 제공합니다. 이 모델의 자동 보정 (automated calibration) 은 반복 가능한 성능을 보장하며, 플랫폼의 사전 보안 기능은 중요한 데이터를 보호하는 데 도움이 됩니다. 또한 울트라 테크 (ULTRATECH) 의 소프트웨어 및 하드웨어 옵션 (arsenal of software and hardware options) 으로 스테퍼를 보완 할 수 있으며, 다양한 어플리케이션 요구에 맞게 장비를 조정할 수 있습니다. 울트라 테크 1500 (ULTRATECH 1500) 은 반도체 제조업체가 이전보다 더 빠르고 안정적으로 정확한 장치 배치 요구 사항을 달성하도록 도울 수있는 다재다능한 스테퍼입니다. 시스템의 고가속 선형 모터 스테이지는 배치 정확도와 처리율을 향상시키는 반면, 독점적인 Saber ™ 정렬 장치 및 SubSaber ™ 하위 샘플링 및 정렬 기능은 수동 프로세스를 줄이는 데 도움이됩니다. 이 기계는 또한 성능 향상 옵션의 배열을 자랑하며, 이를 매우 사용자 정의할 수 있습니다. 마지막으로, 스테퍼의 자동 교정, 자체 정렬, 인라인 초점 교정 기능은 제조업체가 매번 장치를 정확하게 배치할 수 있도록 안심할 수 있도록 해 줍니다.