판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9018358

ULTRATECH 1500은 특허 회전 스캔 노출 시스템을 갖춘 고급 생산 규모 웨이퍼 스테퍼입니다. 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 생산에 사용하기 위해 고해상도 이미징과 결합된 고효율 스캔 기능을 제공합니다. 컴팩트하고 신뢰할 수 있는 디자인으로, 1500은 여러 층의 포토마스크 (photomask) 또는 웨이퍼 (wafer) 를 반복 가능한 결과로 노출시킬 수 있는 뛰어난 성능을 제공합니다. ULTRATECH 1500에는 각각 2 개의 독립적 인 노출 시스템이있는 4 개의 웨이퍼 스테퍼 암으로 구성된 통합 클러스터가 있습니다. 이 스테퍼 클러스터는 정밀 선형 및 회전 액츄에이터에 의해 구동되어 정확하고 반복 가능한 정렬을 제공합니다. 또한 선형 (linear) 과 회전 (rotary) 액츄에이터는 스캐닝 슬릿 및 웨이퍼를 독립적으로 제어하기 위해 높은 정확도 동기화 및 원활한 동작을 가능하게합니다. 1500은 정밀도 이미지 배치 정확도 15m (0.0006 ") 를 통해 크기가 최대 36zm (0.0014") 인 정밀 이미지를 생성 할 수 있습니다. ULTRATECH 1500 - 최신 업계 알고리즘을 사용하여 이미지 포지셔닝, 등록, 노출 최적화를 자동화할 수 있는 독보적인 이미지 처리 모듈을 갖추고 있습니다. 이 모듈은 시중에서 가장 빠른 속도와 정확도를 제공하며, 시간당 최대 40000 회의 노출이 발생합니다. 일부 제작 기능에는 더 자세한 내용을위한 1:1 스케일 노출; 더 큰 깊이를 위해 여러 노출; 웨이퍼 샷을위한 정확한 이미지 이동; 자동 이미지 마스킹. 또한 1500에는 터치 스크린 컨트롤 및 시각적 지침이 포함 된 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 가 있습니다. 직관적이고 사용이 간편한 이 GUI 를 통해 사용자는 간단한 조정, 최소한의 오류로 노출 현상을 프로그래밍할 수 있습니다. ULTRATECH 1500에는 스캔 방향, 이미지 수, 하위 노출 이미지, 현장 노출 전력, 용량 등 노출 매개변수에 대한 사용자 정의 관리도 포함됩니다. 1500은 광범위한 응용 프로그램, 특히 복잡한 마이크로 일렉트로닉 생산 프로세스에 이상적입니다. 탁월한 정밀도, 정확성을 제공하므로 모든 운영 환경에서 매우 유용한 툴입니다 (영문).