판매용 중고 ULTRATECH 1500 #293597692
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ULTRATECH 1500 Wafer Stepper는 고급 마이크로 전자 장치 제조에 사용되는 정밀 정렬 및 이미징 장비입니다. 기판을 정확하게 정렬하고 인라인 (inline) 및 배치 (batch) 구성 모두에서 작동합니다. 1500은 기질이 정렬 및 이미징 동안 정지 상태를 유지할 수있는 차동 메커니즘을 사용합니다. 이 기능을 사용하면 시간에 따른 위치 정밀도를 유지하고 각 작업에 대해 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 동력 Z축을 내장하여 ULTRATECH 1500은 패턴에 반복 가능하고 정확한 노출 레이어를 제공 할 수 있습니다. RECS (Automated Return Exposure Control System) 는 노출 결과가 업계 표준을 준수하도록 보장합니다. 또한 이중 뷰 기능 (Dual-View Capability) 을 통해 기판의 위쪽과 아래쪽에서 작업을 볼 수 있습니다. 또한 1500은 200mm에서 500mm까지 다양한 웨이퍼 크기를 지원합니다. 내장형, 고정밀 스핀들 드라이브 머신은 기판 크기와 재료, 필요한 마스킹 레이어에 관계없이 정확한 정렬을 가능하게 합니다. 이 기계에는 통합 고속 자동 초점 카메라가 장착되어 있어 0.0005 mm 미만의 평면 외 두께를 감지 할 수 있습니다. ULTRATECH 1500은 저전력 레이저 광원 도량형을 사용하며 통합 된 현장 입자 검출도 가능합니다. 이 도구에는 MLWIS (Multilayer Wafer Inspection Asset) 도 있습니다. 1500 은 사용자의 친숙한 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 통해 모델의 다양한 매개변수를 제어하고 결과를 모니터링하는 직관적인 방법을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 장비를 신속하게 설정하고 귀중한 테스트 통찰력을 얻을 수 있습니다. 시스템이 설정되면, 나중에 검토하기 위해 데이터를 데이터베이스로 직접 내보낼 수 있습니다. 전반적으로 ULTRATECH 1500 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 고급 마이크로 전자 장치 생산의 까다로운 요구를 충족시키는 강력하고 다양한 도구입니다. 자동화된 기능과 결합된 정밀한 정렬 (Alignment) 및 이미징 (Imaging) 기능은 다양한 애플리케이션을 위한 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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