판매용 중고 ULTRATECH 1500 WAS #9293282

ULTRATECH 1500 WAS는 고성능 반도체 통합 프로세스를 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 나노 미터 해상도로 여러 반도체 레이어를 정확하고 빠르게 패턴화하는 자동화 된 방법을 제공합니다. 특허를받은 기술은 통합 DST (Direct Scanning Technology) 를 사용하여 매우 정확한 기능과 최소한의 공간 폐기물을 갖춘 반도체 칩을 생산합니다. 1500 WAS에는 0.6 m 피치 이상의 패턴을 처리 할 수있는 고해상도 자동 패턴 장비가 있습니다. 최대 20 배의 자동 초점과 확대/축소를 가능하게 하는, 확대/축소 가능한 고해상도 광학 시스템이 장착되어 있습니다. 스테퍼는 지속적인 궤적 스캔 및 다중 노출이 가능합니다. 이렇게 하면 결과 패턴이 작은 크기의 칩을 통해 정확하게 복제됩니다. 또한 프로세스 시간을 단축할 수 있으며, 비용이 많이 드는 조정 (adjustment) 또는 비용이 많이 드는 재도구가 필요하지 않습니다. ULTRATECH 1500 WAS (HAS 1500 WAS) 는 매우 조절이 가능하며, 고속 논리 아키텍처는 거칠고 훌륭한 동작에 맞게 조정이 가능합니다. 데이터 입력 아키텍처 (Data Input Architecture) 는 자동화되어 프로세스 처리량을 향상시키기 위해 빠르고 정확한 데이터 입력이 가능합니다. 이 고급 스테퍼는 나노미터 수준의 정확도로 패턴 데이터를 스캔하여 프로세스 성능이 우수합니다. 또한 1500 WAS 는 웨이퍼 처리에 필요한 최적의 온도를 유지하는 고급 냉각 장치 (advanced cooling unit) 를 자랑합니다. 이 기계는 또한 사용자에게 저소음 프로세스 환경 (low-noise process environment) 을 제공하는 진동 격리 플랫폼을 갖추고 있습니다. 또한, 이 도구에는 프로세스 중에 발생한 문제를 해결하기 위한 고급 진단 도구가 포함되어 있습니다. ULTRATECH 1500 WAS 는 사진 (photolithography), 하드 에칭 (hard etching), 웨이퍼 검사 등 다양한 통합 프로세스 옵션에서 작동할 수 있습니다. 또한 점프 와이어 본딩 (Jump Wire Bonding) 및 다양한 석판화 프론트 엔드 장비 (Lithographic Front-End Equipment) 와 같은 다른 프로세스 기술을 통합 할 수 있습니다. 이러한 통합 프로세스 옵션은 고급 기능과 함께 1500 WAS (WAS) 를 하이엔드 반도체 통합 프로세스에 이상적인 솔루션으로 만듭니다.