판매용 중고 ULTRATECH 1500 WAS #9244230

ULTRATECH 1500 WAS
ID: 9244230
Stepper 0.8 um.
ULTRATECH 1500 WAS는 고정밀 사진 해설을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. IC (Integrated Circuit) 칩, LCD 디스플레이, 이미징 등의 다양한 반도체 및 옵토 전자 장치를 처리하는 데 적합합니다. 컴팩트하고 효율적인 1500 WAS는 5 축, 완전 자동화 된 웨이퍼 스테퍼로, 웨이퍼를 초당 1500mm까지 이동할 수 있습니다. 고유한 디자인은 광원과 광학의 고정밀 동작 및 정밀한 정렬을 보장합니다. 기계에는 마스크 좌표를 정확하게 정렬할 수 있는 고급 좌표 변환 (advanced coordinate transformation) 기능이 장착되어 있습니다. 이 스테퍼에는 업계 표준 PIC (programmable integrated controller) 와 강력하고 신뢰할 수있는 고급 모션 제어 알고리즘이 있습니다. ULTRATECH 1500 WAS에는 서브 미크론 정확도로 고해상도 이미지를 제공하는 독특한 스캐닝 메커니즘이 있습니다. 노출 챔버 (Exposure Chamber) 는 최대 24 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있으며 빠르고 경제적인 배치 처리가 가능합니다. 고해상도 노출 광학은 레티클 왜곡을 줄이고 공정 수율을 향상시키는 데 사용되는 기술 인 '오버랩 스티칭 (overlap stitching)' 을 달성하는 데 효과적입니다. 스테퍼에는 수동 (manual) 과 자동 (automatic) 정렬이 모두 포함되어 전체 프로세스 동안 공차와 정확도를 유지합니다. 1500 WAS 의 정교한 마이크로 컨트롤러 (micro-controller) 는 운영자가 모든 설정 및 기능에 원격으로 액세스 및 관리할 수 있도록 소프트웨어를 내장하고 있습니다. 또한 다양한 기능을 갖춘 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 높은 수준의 데이터 분석 및 제어를 지원합니다. 또한, 이 시스템은 업계 표준 네트워킹 및 전송 (Transfer) 프로토콜과 호환되므로 데이터 전송이 쉽고 안전합니다. 전반적으로, ULTRATECH 1500 WAS는 고품질의 정밀 결과를 제공 할 수있는 안정적이고 강력한 웨이퍼 스테퍼입니다. IC 제작 (IC fabrication) 에서 광자 (photonic) 및 광 전자 장치 처리 (opto-electronic device processing) 에 이르는 응용 분야에 이상적으로이 기계의 놀라운 속도와 정확성은 고급 기술을 개발하는 데 없어서는 안될 도구입니다.
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