판매용 중고 ULTRATECH 1500 WAS #9085381

ID: 9085381
웨이퍼 크기: 5"-6"
Stepper, 5"-6" HP Computer included.
ULTRATECH 1500 WAS는 ULTRATECH, Inc.에서 제조 한 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. "스테퍼 '는 제조 공정 중 에" 반도체' 장치 의 정확 하고 정확 한 정렬 과 위치 를 유지 하도록 설계 되었다. 스테퍼는 고정밀 석판화 응용 프로그램에 대한 전례없는 정확성과 반복 성을 제공합니다. 1500 WAS (WAS) 는 멀티 망원경과 1.5 ½ m 오버 캔 조명 장비와 같은 고급 기술의 조합을 활용하여 높은 정확성과 반복성을 제공합니다. 스테퍼는 다중 망원경 광학 디자인을 통합하여 여러 개의 독립적으로 수정 가능한 망원경을 결합하여 정확한 정렬을 보장합니다. 이 시스템은 또한 효율적인 리소그래피 (lithography) 를 가능하게하기 위해 광범위한 노출 파장과 강도를 허용합니다. 또한 1.5 유로의 오버 캔 조명 장치 (overcan illumination unit) 는 정확한 정렬을 위해 고해상도에서 효율적인 조명을 제공합니다. ULTRATECH 1500 WAS (TRATECH 1500 WAS) 는 강력한 제어 대시보드로 구성되어 여러 프로세스 단계를 쉽고 정확하게 통합할 수 있습니다. 이 기계는 직관적인 사용자 인터페이스, 강력한 Windows 기반 제어 도구, 광범위한 자동화 기능 (Automation Feature) 을 갖추고 있어 프로세스의 모든 단계를 사용자 정의할 수 있습니다. 이는 스테퍼를 높은 적응성이 있으며 생산 프로세스에 사용하기 쉽습니다. 1500 WAS는 제조 과정에서 높은 속도와 정밀도를 제공합니다. 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 특허 출원 중인 빠른 스캐닝 (rapid scanning) 자산을 사용하여 웨이퍼 당 최대 1초의 총 영역 디포커스 (defocus) 및 정렬 스캐닝 속도를 사용할 수 있습니다. 또한이 모델의 정렬 정확도는 최소 0.2 µm, 위치 정확도는 최대 0.4 µm, 공급 정확도는 0.1 äm입니다. ULTRATECH 1500 WAS 는 제품 요구 사항에 맞게 맞춤 구성할 수 있으며, 반도체 Contact Grid Array 제조, 반도체 테스트, 의료 기기 제조, 생명 공학 등 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. 이 장비는 또한 노출 단계 (Exposure Stage), 뒷면 (Back-side) 및 소스 조명 (Source Illumination), 성능을 최적화하는 다양한 렌즈와 필터 등 다양한 추가 옵션을 제공합니다. 1500 WAS는 제조 과정에서 반도체 장치의 정확하고 정확한 정렬을 위해 ULTRATECH, Inc.에서 제조 한 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 스테퍼는 멀티 망원경과 1.5 ½ m 오버 캔 조명 시스템을 사용하는 고정밀 석판화 응용 프로그램에 대한 전례없는 정확성과 반복 성을 제공합니다. 또한, 이 장치는 직관적인 사용자 인터페이스, 강력한 Windows- 기반 제어 머신, 높은 속도 및 정밀도를 위한 광범위한 자동화 기능을 갖추고 있습니다. ULTRATECH 1500 WAS는 반도체 컨택트 그리드 어레이 제조, 반도체 테스트, 의료 기기 제조, 생명 공학 등 다양한 응용 분야에 적합합니다.
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