판매용 중고 ULTRATECH 1500 MVS #9306125

ULTRATECH 1500 MVS 웨이퍼 스테퍼는 리소그래피 및 회로 제작 프로세스에 사용되는 고정밀 기계입니다. 그것 은 여러 종류 의 "반도체 웨이퍼 '에" 패턴' 을 빠르고 정확 하게 노출 시키도록 설계 되었다. 1500 MVS는 + 또는 -5 미크론 정밀도 범위의 컴퓨터 제어 단계를 사용하는 3 축 석판화 기계입니다. 0.5 아크 해상도의 정밀 6 축 회전 동작 스테이지가 특징입니다. 이렇게 하면 사용자가 웨이퍼 스테퍼 레이저의 노출, 배치, 각도를 정확하게 제어할 수 있습니다. ULTRATECH 1500 MVS는 최대 10,700 ° F의 온도를 생성하는 고해상도 가변 동력 레이저 (파장 최대 10.60m) 를 통합합니다. 이 기계 에는 또한 "담요" 가 있는데, 이것 은 "레이저 '광선 을" 웨이퍼' 크기 에 맞추어 "레이저 '로부터의" 에너지' 손실 을 최소화 하는 데 도움 이 된다. 이것은 균일 한 노출을 보장하는 데 도움이됩니다. 1500 MVS 웨이퍼 스테퍼는 충실도가 높은 패턴을 빠르게 노출 할 수 있습니다. mm 당 최대 10 줄의 마스크를 노출 할 수 있습니다. 또한, 기계는 종횡비가 0.1 내지 4.4 인 웨이퍼를 정확하게 노출 할 수있다. 이 기계는 또한 멀티 존 (multi-zone) 과 거친/미세 정렬 시스템을 갖추고 있으므로 클리어런스 요구 사항이 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 정렬 시스템 (Alignment System) 은 웨이퍼의 노출 영역이 정확히 정렬되어 있는지 확인합니다. 또한, 사용자가 즉시 노출 매개변수를 수정할 수 있도록 하는 소프트웨어 (software) 프로그램이 특징입니다. ULTRATECH 1500 MVS는 빠른 로드/언로드 시간과 고속 속도 (최대 0.3mm/초) 를 제공하여 처리량을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 기계는 다양한 웨이퍼 크기와 패턴을 효율적이고 정확하게 처리하도록 설계되었습니다. 1500 MVS는 고급적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 컴퓨터 제어 단계, 고해상도 레이저, 다중 영역 정렬 시스템, 고속 로드/언로드 기능으로 대량 생산 작업에 적합합니다.