판매용 중고 ULTRATECH 1500 MVS #9280622

ULTRATECH 1500 MVS
ID: 9280622
빈티지: 2003
Stepper 2003 vintage.
ULTRATECH 1500 MVS는 반도체 웨이퍼에서 고해상도 디지털 이미지를 생성할 수있는 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 디지털 이미징, photomask 복구 및 wafer metrology 응용 프로그램에 이상적입니다. 1500 MVS에는 사용하기 쉽고 효율적인 여러 기능이 있습니다. ULTRATECH 1500 MVS에는 대상 이미지 위치의 1 미크론 내에 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수있는 고정밀 X-Y 포지셔닝 장비가 있습니다. 또한 최대 0.5 마이크로미터 해상도의 고해상도 디지털 이미징 기능을 갖추고 있습니다. 따라서 photomask 복구 및 웨이퍼 도량형 작업에 이상적입니다. 또한 자동 정렬 및 이미지 최적화를 위한 정교한 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 1500 MVS에는 뛰어난 다용성을 제공하는 다양한 광학 및 이미징 시스템이 포함되어 있습니다. 디지털 TV 카메라, 2 개의 쿼츠 조명 장치, 자동 초점 제어 시스템 및 조절 가능한 카메라 줌 장치가 있습니다. 또한 이 장치에는 웨이퍼의 전체 회전을 가능하게 하는 회전 단계 (rotating stage) 어셈블리가 있습니다. 이렇게 하면 [와퍼] 중심을 사용하여 이미지를 정확하게 정렬할 수 있습니다. ULTRATECH 1500 MVS의 제어기 (Control Machine) 는 사용이 용이하여 이미징 프로세스를 정확하게 조작할 수 있습니다. 종합적인 사용자 인터페이스가 있으며, 이미지 버퍼링, 이미지 저장, 이미지 검색, 이미지 비교 기능 등이 포함되어 있습니다. 도구 진단 및 수리에 도움이 되는 임베디드 (Embedded) 문제 해결 기능도 있습니다. 결론적으로 1500 MVS는 뛰어난 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로서 높은 정밀도와 해상도로 안정적인 이미징을 제공합니다. 다용도 및 사용하기 쉬운 제어 자산은 photomask 수리 및 웨이퍼 도량형 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.
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