판매용 중고 ULTRATECH 1500 MVS #9280621

ULTRATECH 1500 MVS Wafer Stepper는 고해상도 반도체 마이크로 칩을 이동하도록 설계된 고성능, 풀 필드 프로그래밍 가능 리소그래피 장비입니다. 이 기계는 석판화 (lithography), 제어 시스템 (control system) 및 이미징 기술의 최신 발전을 통합한 고급 설계 플랫폼을 갖추고 있습니다. 1500 MVS는 탁월한 정확성, 반복성 및 이미지 충실도를 제공합니다. 웨이퍼, 마스크, 호일 등 모든 유형의 기판을 이미징 할 수 있습니다. 이 시스템은 완전히 자동화되어, 가장 빠르고 정확한 운영을 가능하게 합니다. ULTRATECH 1500 MVS는 운동학, 정밀 모터, 간섭법, 이미지 처리를 활용하여 이미징 영역의 웨이퍼를 정확하고 정확하게 이동합니다. 광 설계를 통해 장치 활용도를 극대화하여, 가장 빠르고, 해상도가 높은 이미지를 사용할 수 있습니다. 기계는 2 개의 간섭계를 사용하여 웨이퍼의 위치와 회전을 추적하고 조정합니다. 1500 MVS에는 고속 이미지 센서, 컴퓨터, 제어 소프트웨어도 포함되어 있어 완벽한 프로그래밍 가능한 석판화 도구를 제공합니다. ULTRATECH 1500 MVS는 5 미크론 해상도로 최대 8 "기판을 수용 할 수 있습니다. 자산은 각 기판에 수천 개의 웨이퍼 사이트 (wafer site) 를 배치하여 반도체 장치의 대용량 제조를 가능하게합니다. 정렬 정확도는 +/- 0.2 미크론으로, 결과 제품에서 우수한 전기 성능을 제공합니다. 1500 MVS는 반복 가능한 정확성과 고화질 이미징 (high-fidelity imaging) 으로 인해 까다로운 고성능 어플리케이션을 위한 완벽한 솔루션입니다. ULTRATECH 1500 MVS에는 고속 이미지 추적, 단계 및 반복 (step-and-repeat), 스팟 리소그래피 (spot lithography) 프로그램 등 다양한 기능이 제공되므로 각 웨이퍼에 기능을 정확하게 배치할 수 있습니다. 이 모델에는 렌즈 (lenses), 배플 (baffles), LED (LED) 와 같은 미리 교정 된 광학 요소의 포괄적 인 라이브러리가 함께 제공됩니다. 1500 MVS 는 다양한 유형의 노출 (Exposure) 프로그램을 실행할 수 있어 다양한 이미지를 이미징할 수 있는 다용도 도구입니다. ULTRATECH 1500 MVS는 고급 이미징 기능 외에도 멀티 사이트 웨이퍼 지원, 프로그래밍 가능한 스캔 속도, 가변 볼륨 마스크, 동급 최고의 성능을 위한 자동 레벨 링 (automatic leveling) 등 고급 성능 기능도 제공합니다. 이 기계는 옵션 액세서리 (예: 통합 스캐너 및 자동 로드 장치) 를 통해 사용자 정의할 수 있습니다. 1500 MVS는 업계 수준의 웨이퍼 스테퍼로, 뛰어난 성능과 안정성을 제공합니다. 고정밀 이미징 기능, 고급 제어 장비, 견고한 구조로 인해 대용량 반도체 제조에 적합합니다.