판매용 중고 ULTRATECH 1500 MVS #9276419

ULTRATECH 1500 MVS 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 양질의 보증을 위해 우수한 "전방" 도량형 기능을 사용하여 물체와 패턴을 0.25 "m (마이크로 미터) 작게 배치하도록 설계된 고도로 자동화 된 광학 석판 시스템입니다. 고급 광학 (Optical), 기계 (Mechanical), 공정 (Process) 기술을 조합하여 강력한 이 도구를 통해 높은 수율로 빠르게 웨이퍼를 제조할 수 있습니다. 1500 MVS의 핵심은 광도 극대화, 화질 최적화, 최고 해상도의 작문 (writing) 기능을 제공하도록 설계된 정밀 옵티컬 플랫폼입니다. 자외선 조명 (UV lumination) 과 고도로 자동화된 렌즈 (lenses) 는 광원을 위치시켜 패턴의 정확도를 높입니다. 또한 시스템의 서보 제어 테이블, 모터, 셔터 (shutter) 는 웨이퍼 배치를 최적화하고 높은 균일성과 정렬 정확도를 반환합니다. MVS 플랫폼은 또한 빠른 이미지 쓰기 및 웨이퍼 워페이지 평가를 위한 강력한 벡터 프로세서를 갖추고 있습니다. ULTRATECH 1500 MVS는 다양한 성능 기능도 제공합니다. 이미지 스캔 (scan-in-place) 및 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 기능을 사용하면 기록과 빈 웨이퍼 이미지를 동시에 표시하면서 여러 필드 크기와 설계 밀도를 효율적으로 작성하고 확인할 수 있습니다. 고속 벡터 (High-speed Vector) 프로세서는 또한 회색 음영 출력을 지원하며 사용자가 빠르게 분할하고 웨이퍼를 분리할 수 있습니다. 또한, 1500 MVS에는 생산성을 높이고 비용을 절감하는 다양한 자동화 기능이 있습니다. 고급 에지 감지 (enhanced edge detection) 및 고급 제어 (advanced control) 알고리즘은 각 웨이퍼 또는 일괄 처리에 대해 올바른 레시피를 신속하게 작성하여 처리량을 향상시킵니다. 자동 웨이퍼, 레티클 식별 (reticle identification), 정확한 위치 측정, 자동 프로세스 변경과 같은 통합 프로세스는 모두 지속적인 처리량 및 높은 수율을 촉진합니다. ULTRATECH 1500 MVS는 강력하고, 기능이 풍부한 웨이퍼 스테퍼로, 다양한 프로젝트에서 지속적으로 높은 수익률과 균일성을 반환합니다. 정교한 광학 플랫폼, 정확한 제어, 자동화 기능 (automation function) 을 갖춘 이 시스템은 안정적이고 효율적인 고해상도 리소그래피 솔루션을 필요로 하는 기업에 이상적인 선택입니다.