판매용 중고 ULTRATECH 1500 MVS #9267164

ULTRATECH 1500 MVS (Multichannel Vibrating Sample) 는 반도체 제작 및 연구 응용 프로그램을 위해 설계된 완전히 자동화된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 서브 미크론 (sub-micron) 정확도로 웨이퍼의 미세한 특징을 정확하게 측정하도록 설계되었으며, 다양한 기판 크기와 모양을 처리하도록 구성 될 수 있습니다. 이 기계는 결정 구조, 도핑 농도, 지형, 표면 구성, 전기 특성 및 기타 매개변수를 분석 할 수 있습니다. 핵심 시스템에서 시스템은 샘플 준비, 측정 및 분석의 3 가지 하위 시스템으로 구성됩니다. 샘플 준비 장치 (sample preparation unit) 는 기계의 핵심 구성 요소이며, 자동 습식 에칭 도구 (automated wet etching tool) 와 기판 준비 및 처리를위한 다양한 액세서리 (accessory) 를 포함합니다. 이 자산은 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 반복 가능한 결과와 일관된 품질을 제공합니다. 측정 서브 시스템에는 2 개의 평면 구동 단계 (Planar Drive Stage) 가 장착되어 기판을 스캔할 때 높은 정밀도와 반복 성을 보장합니다. 단계에서는 예제 준비 (sample preparation) 모델로 가능한 것보다 넓은 영역의 기판을 스캔할 수 있으므로 보다 상세한 분석을 할 수 있습니다. 매핑 절차는 높은 동적 범위 (dynamic range) 와 정밀도 (precision) 를 갖는 단일 축 스캐닝 거울에 의해 수행됩니다. 마지막으로, 분석 서브시스템 (analysis subsystem) 은 측정 데이터의 종합적인 후처리를 제공하여 제조 또는 연구에 필요한 매개변수를 결정합니다. 데이터를 배율 조정하고 처리하여 평가용 실시간 및 3D 그래픽 디스플레이를 만들 수 있습니다. 1500 MVS는 다양성이 높고 정밀한 웨이퍼 스테퍼이며, 자동 샘플 준비, 측정 및 분석 하위 시스템으로 작동하기 쉽습니다. 기기 를 특정 한 "응용프로그램 '의 필요 에 맞게 조정 하도록 구성 을 변경 할 수 있으며," 그래픽' 데이터 "디스플레이 '는 매우 교육적 이며, 신속 하고 쉽게 조작 하여 정확 한 측정 을 할 수 있다. 울트라 테크 1500 MVS (ULTRATECH 1500 MVS) 는 탁월한 성능과 유연성을 바탕으로 반도체 및 연구 응용프로그램에 탁월한 수준의 정확성과 사용 편이성을 제공합니다.