판매용 중고 ULTRATECH 1500 MVS #9266754

ULTRATECH 1500 MVS는 반도체 장치 생산에 사용되는 정밀 리소그래피를 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 울트라스테퍼 (UltraStepper) 제품군의 일부로, 높은 수준의 정확성과 품질을 유지하면서 비용을 절감하고 처리량을 높이도록 특별히 설계되었습니다. 이 장비는 각 단계에서 스테이지 위치를 측정하고 조정하는 5 축 전동 스캐닝 스테이지와 높은 정확도 인코더를 사용합니다. 1500 MVS는 유리 기판을 최대 156mm, 용매 및 열 내성 마스크 최대 4 ", 스캔 속도 최대 1500mm/s를 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 또한 고급 동작 피드백 제어 시스템을 사용하여 X 축 (X axis) 과 Y 축 (Y axis) 에서 노출 영역의 스테이지와 정렬을 정확하게 정렬합니다. ULTRATECH 1500 MVS에는 2 축 광 장치 (optical unit) 가 장착되어 있어 노출 전에 마스크 및 기판을 정확하게 광 정렬할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고급 이미징 알고리즘 (advanced imaging algorithm) 을 사용하여 노출 중 스테이지의 동작을 모니터링하고 조정합니다. 1500 MVS는 광범위한 노출 패턴을 제공하며 다중 레벨 패턴을 허용하는 "스마트 (smart)" 에지 타일링 도구를 갖추고 있습니다. 이 자산에는 프로그래밍 가능한 스캔 패턴 생성기가 포함되어 있으며, 다양한 수준의 해상도를 지원합니다. 이 모델은 단일 노출 및 다중 노출이 모두 가능하며 0.1 um 패턴화 정확도와 0.001 um 모서리 배치 정확도를 생성 할 수 있습니다. 이 장비는 최대 6 개의 레시피를 저장할 수 있으므로 대용량 환경에 적합합니다. ULTRATECH 1500 MVS는 이동하는 구성 요소 간의 접촉을 최소화하여 안정성을 높이고 수명을 연장하도록 설계되었습니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 견고한 구조적 설계를 특징으로하여 산업 환경에서 안정적인 운영을 가능하게합니다. 울트라텍 (ULTRATECH) 은 또한 다양한 액세서리와 소모품을 제공하여 기계의 성능을 최적화합니다. 고급 스테퍼 제어 장치, 온도 및 습도 제어, 인라인 입자 모니터링 및 자동 작업 제출 (automatic job submission) 과 같은 기능을 갖춘 1500 MVS는 고품질 웨이퍼 패턴을 생산하려는 사람들에게 완벽한 도구입니다.