판매용 중고 ULTRATECH 1500 MVS #9256268

ULTRATECH 1500 MVS는 반도체 장치 제작을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 또는 리소그래피 머신입니다. 이 기계는 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 프로세스를 사용하여 부분 기하학적 특징과 하위 마이크로미터 (sub-micrometer) 에서 거시적 (macroscopic) 에 이르는 구조를 가진 미세하게 패턴 화 된 접착층 및 광도 코팅 기판을 노출시킵니다. 이 시스템은 사용자가 선택할 수 있는 다양한 기판 크기 (자동 초점 기능 포함) 를 갖추고 있어 정확성을 보장합니다. 1500 MVS는 프로그램 가능한 이중 축 스캐닝 동작 시스템을 사용하여 전체 스캐닝 범위에서 마스크 정렬 및 측정 정확도를 측정합니다. 첨단 스캐닝 (Scanning) 기술과 안정성을 통해 칩에 작고 작은 기능을 노출시킬 수 있습니다. 또한 전체 스캔 범위에서 진정한 균일 한 스캔 속도를 제공합니다. 스테퍼에는 20-jm 피치 정확도, 100 × 100 mm (또는 더 큰) 의 동작 범위 및 최대 500 mm/s의 스캔 속도가 가능한 음극선관 기반 웨이퍼 스테이지가 장착되어 있어 빠르고 정확한 웨이퍼 포지셔닝 및 리토그래피 정렬. 이 기계에는 자동 초점 기능 (auto-focus capability) 이 추가되어 정렬 정확성과 반복성을 더욱 향상시킵니다. 전체 시스템은 모듈식 (modular) 설계로 구성되며, 간편한 사용자 지정 구성과 빠른 설정이 가능합니다. 또한 "린 디자인 (Lean Design)" 은 불필요한 부품과 부품 마모의 양을 줄여 유지보수 주기 (Maintenance Cycle) 를 줄이고 다운타임을 최소화하면서 생산성을 향상시키는 보다 안정적인 머신을 제공합니다. ULTRATECH 1500 MVS의 추가 기능은 조절 가능한 자동 기울기 (automatic tilt) 포지셔닝 기능으로, 다양한 기판 표면 및 구성 요소를 준수할 수 있습니다. 또한 자동 카세트 로드/언로딩 및 바코드 리더를 사용하여 시간당 최대 160 개의 웨이퍼를 실행할 수 있도록 설계되었으며, 효율적이고 정확한 리소그래피 성능을 제공합니다. 결론적으로, 1500 MVS는 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공하는 뛰어난 웨이퍼 스테퍼입니다. 기계는 매우 빠르고, 설치가 쉽고, 조절 가능한 기울기 기능으로 모든 유형의 기판 크기를 처리 할 수 있습니다. 석판 공정에 이상적인 기계입니다.