판매용 중고 ULTRATECH 1500 MVS #9188728

ULTRATECH 1500 MVS
ID: 9188728
빈티지: 1999
Stepper 1999 vintage.
ULTRATECH 1500 MVS 웨이퍼 스테퍼는 마이크로 전자 장치 제작을 위해 특별히 설계된 리소그래피 장비입니다. 이 도구는 첨단 기술과 기능을 통해 고정밀 (high-precision) 정렬 및 이미징을 지원합니다. 이 시스템은 100 nm 이하의 장치 제조 및 생산에 이상적입니다. 1500 MVS는 균일성을 위해 자동 정렬 된 160mm 웨이퍼 스테이지를 갖추고 있습니다. 또한 웨이퍼 스테퍼에는 초고속 스테퍼/스캐너와 30 발의 스캐닝 시간이 있습니다. 이 기술적으로 진보 된 웨이퍼 스테퍼는 전체 이미지 평면에서 1 ½ m 미만의 해상도를 달성 할 수 있습니다. 또한 다양한 노출/초점 기능을 통해 워크플로우의 유연성을 높일 수 있습니다. ULTRATECH 1500 MVS는 크세논, UV 발광 다이오드 (LED), 레이저 유도 이미징 등 다양한 조명원을 활용하여 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼는 복잡한 데이터 조작을 위해 사용하기 쉬운 도구를 제공하는 고급 머신 전용 소프트웨어 (advanced machine-specific software) 로 프로그래밍 할 수 있습니다. 1500 MVS에는 강력한 노출 및 초점 제어 장치도 장착되어 있습니다. 이 최첨단 머신은 다양한 이미징 요구사항을 충족시키기 위해 다양한 "렌즈 '를 활용하는 기능을 갖추고 있습니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼에는 최대 4 개의 하위 필드의 노출 및 초점을 정확하게 조정하는 조정 도구가 있습니다. 결론적으로, ULTRATECH 1500 MVS 웨이퍼 스테퍼는 반도체 장치를 정확하고 효율적으로 제작하도록 설계된 강력한 석판화 도구입니다. 이 제품은 자동 정렬 (Automated Alignment), 노출 (Exposure), 초점 제어 (Focus Control) 기능을 통해 탁월한 성능과 성능을 제공합니다. 1500 MVS는 빠르고 안정적인 리소그래피 및 마이크로 일렉트로닉스 장치 제조에 이상적입니다.
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