판매용 중고 ULTRATECH 1500 MVS #9188725

ULTRATECH 1500 MVS는 대용량, 저렴한 웨이퍼 레티클 노출을 위해 특별히 설계된 독립형 웨이퍼 스테퍼입니다. 스테퍼는 0.2 마이크로미터의 작은 크기에 대해 정확한 정렬을 제공 할 수 있습니다. 스캐닝 마스크 알리그너 (Scanning Mask Aligner) 의 독특한 디자인으로 전체 분야에 걸쳐 뛰어난 조명을 보장하며, 마스크 헤드 (Mask Head) 에는 특허 솔루션, 스캐닝 위치 잠금 (SPL) 메커니즘이 장착되어 있어 웨이퍼 정렬이 정확하고 웨빙 및 왜곡 효과가 크게 줄어 듭니다. 1500 MVS 시스템은 다중 단계 인덱스 스테퍼 플래튼 (stepper platen) 기술을 갖추고 있으며, 단일 패스에서 시간당 650 개의 웨이퍼 처리량을 제공 할 수 있으며, 조정 가능한 전력 및 펄스 너비를 가진 매우 안정적이고 낮은 왜곡 제논 수은 광원을 제공합니다. 이 시스템은 모든 축에서 +/- 2 미크론의 반복 성 (Repeatability) 을 가지고 있으며, 이는 클래스에 매우 정확합니다. 또한 ULTRATECH 1500 MVS에는 AutoFieldAlign과 같은 다양한 강력한 기능이 포함되어 있어 필드 왜곡을 실시간으로 자동 수정할 수 있습니다. 멀티 플래시 (MultiFlash) 는 단일 코팅 플레이트에서 최대 20 개의 다중 노출 시퀀스를 프로그래밍 할 수 있습니다. 및 Adaptive Exposure (적응 노출) - 고급 광학 센서를 사용하여 즉석에서 웨이퍼 정렬을 모니터링하고 그에 따라 조명을 자동으로 조정합니다. 1500 MVS는 웨이퍼 레티클 (wafer reticle) 노출, 특히 대용량 생산의 요구에 적합한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 안정적인 xenon 광원은 일관된 조명 수준을 보장하는 반면, 유연한 프로그래밍 옵션 및 실시간 자동 수정 기능은 정확성과 반복 성을 보장합니다. 단기적인 프로젝트, 잦은 제품 변경, 탁월한 정확도로 고품질 웨이퍼 레티클 (Reticle) 을 생산하기 위한 완벽한 시스템입니다.