판매용 중고 ULTRATECH 1500 MVS #293751911

ULTRATECH 1500 MVS는 Ultech Microsystems에서 설계 및 제조 한 다중 축 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 매우 정확한 리소그래피 장비는 반도체 처리에 사용하도록 설계되었습니다. 제어 환경에서 레티클 (reticle) 에서 웨이퍼 (wafer) 로 패턴을 전송하는 데 사용됩니다. 이 스테퍼는 6 축 플랫폼을 기반으로하며 다양한 패턴에서 고해상도 (high resolution) 이미지를 만들 수 있습니다. 1400nm 이상의 해상도에서 빠른 패턴 전송이 가능한 최첨단 구성 요소를 사용하여 제작되었습니다. 1500 MVS는 정확하고 반복 가능한 정렬을위한 고정밀 레티클 포지셔너를 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 자동 웨이퍼 처리 (wafer handling) 및 로딩 (loading) 시스템을 장착하여 최대 6 개의 웨이퍼 처리 및 로딩 단계를 관리할 수 있습니다. 로드 장치 (loading unit) 는 원하는 방향에 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 배치하고, 처리 머신은 사용자가 도구에 있는 웨이퍼 (wafer) 의 배치를 조작할 수 있도록 합니다. 스테퍼는 또한 일관된 처리 온도를 유지하기 위해 온도 조절 환경을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 온도 변동으로 인한 이미징 매개변수의 변화를 방지할 수 있습니다. 또한, ULTRATECH 1500 MVS는 고효율의 조명 자산을 사용하여 대상 기판을 가장 잘 조명합니다. 이 기계는 뛰어난 이미징 기능 외에도 wafer-to-reticle 도량형도 갖추고 있습니다. (PHP 3 = 3.0.6, PHP 4) 이렇게 하면 패턴이 기판으로 정확하게 전송됩니다. 전체적으로 1500 MVS는 패턴 전송을위한 고급적이고 정확한 기계입니다. 다양한 패턴의 고해상도 이미지를 제작할 수 있는 신뢰할 수 있는 6축 (6축) 플랫폼이 특징입니다. 자동 웨이퍼 처리 (wafer handling) 및 로드 모델 (loading model) 및 온도 조절 환경은 스테퍼를 리소그래피 응용 프로그램을위한 신뢰할 수있는 도구로 만듭니다. 마지막으로, 내장 도량형 장비는 레티클에서 패턴의 정확한 크기와 모양을 보장합니다.