판매용 중고 ULTRATECH 1100 #9244754
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ULTRATECH 1100 (ULTRATECH 1100) 은 고성능 와이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 로, 사용자가 기판을 매우 다양하고 신뢰할 수 있는 방식으로 자동으로 정렬하고 측정할 수 있습니다. 이 기계는 미크론 수준의 정확도와 균일 한 처리율로 얇은 기판 (예: 반도체 웨이퍼) 을 처리하는 데 이상적입니다. 정렬 및 측정을 정확하게 수행 할 수있는 대형 23 인치 스테이지가 장착되어 있습니다. 1100 은 자동 정렬 시스템 (auto alignment system) 을 통해 기판 표면을 웨이퍼 마스크 및 장치 레이어로 정확하게 스캔 및 정렬할 수 있습니다. 이를 통해 오류 및 부적합성을 줄이면서 높은 생산성과 생산성을 보장할 수 있습니다. 스텝퍼 (stepper) 는 기판의 가장자리를 정확하게 이미지화하고 최적의 정렬을 위해 복잡하게 조정하여 최고 수준의 정확도를 제공하는 멀티 레이어 매핑 시스템 (multi-layer mapping system) 으로 설계되었습니다. ULTRATECH 1100 프로세싱은 자동화되어, 정렬, 노출 및 측정을 완벽하게 디지털 방식으로 제어할 수 있습니다. 따라서 품질 저하 없이 처리량이 향상됩니다. "스테퍼 '는 여러 가지 진공 기법 으로 구성 할 수 있으며, 그 로 인해 기판 을 튼튼 하게 처리 할 수 있다. 견고한 설계는 반복 가능한 노출 프로세스를 보장하여 기판 간의 품질 변화를 최소화합니다. 또한 1100은 고급 패턴 인식 시스템을 제공하여 자세한 검사 및 분석을 용이하게합니다. 서피스 매핑 기능을 통해 연산자는 웨이퍼 투 웨이퍼 성능을 검사하고 필요한 조정을 할 수 있습니다. 스테퍼에는 추가 이미지 수동/현장 보상 및 최적화를 위해 기판 곡률을 정확하게 측정하기 위해 온보드 스트레인 게이지 (On-board strain Gauge) 가 장착되어 있습니다. 또한 ULTRATECH 1100은 미세 구성 프로세스와의 뛰어난 성능과 광범위한 호환성을 제공합니다. 산화, 착상, 에칭, 스핀 코팅 및 포토 esist 스핀 기술을 포함한 광범위한 처리 기술을 지원합니다. 직관적인 소프트웨어를 통해, 스테퍼는 쉽게 작동하고, 온라인 자원에서 지원됩니다. 1100 은 반도체 처리를 위한 신뢰성이 높은 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 최고 수준의 정확도와 처리량을 제공합니다.
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