판매용 중고 ULTRATECH 1100 #9238245

ULTRATECH 1100은 선도적인 반도체 제조업체의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 심층 UV (DUV) dry photo lithography 장비입니다. 스텝퍼 (stepper) 및 스캐너 (scanner) 구성을 통해 다양한 웨이퍼 수준에서 뛰어난 이미징 및 오버레이 정확도를 제공합니다. 이 시스템은 고급 웨이퍼 레벨 칩 스케일 패키징 (WLCSP) 패턴, TSV (through-silicon via) 기술 및 초박형 웨이퍼/테이프가없는 결합을 포함하여 광범위한 응용 프로그램을 제공합니다. 1100은 최소 0.25 미크론 (0.25 미크론) 해상도까지 높은 이미징 해상도를 제공 할 수 있습니다. 또한, 20mm에서 0.3m의 시장에서 사용 가능한 가장 높은 오버레이 정확도를 가지고 있습니다. 내장형 광 장치 (optical unit) 는 매우 낮은 작업 거리에 최적화되어 이미지 정확도에 대한 웨이퍼 에지 왜곡의 영향을 최소화합니다. 또한 스테퍼는 IBSC (Image-Based Self Calibration) 와 CRA (Chromatic Restrain Alignment) 에 최신 기술을 통합하여 환경 안정성과 높은 생산성을 제공합니다. ULTRATECH 1100 드라이 스테퍼는 전체 기판 면적에서 0.1 미터 x 0.1 미터 (0.1 x 0.1 x) 의 작은 특징을 패턴화 할 수 있으며, 스텝 노출 (steped exposure) 과 같은 여러 노출 기술을 사용할 필요가 없습니다. 기계의 다른 기능으로는 고급 백그라운드 빼기 (Background Subtraction), 초점 정확도를 향상시키는 Accu-Clamp 도구, 최대 15kHz 데이터 입력 주파수를 지원하는 VDA (Vertical Displacement Alignment) 등이 있습니다. 1100에는 32비트 CMOS 디지털 비디오 캡처 및 최신 이미지 처리 알고리즘을 지원하는 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface), 고밀도 플랫 필드 조명 (High Precision Flat-Field Illumination) 및 고급 카메라 에셋 (Camera Asset) 이 제공됩니다. 전체 모델 생산성을 위해 스테퍼에는 원격 I/O 인터페이스와 이더넷 리모콘 (Ethernet remote control) 이 장착되어 있어 여러 시스템 간에 원활한 전환이 가능합니다. 또한, ULTRATECH 1100에는 자동 렌즈 체인지 오버 (change-over) 및 전동 웨이퍼 이동 (motorized wafer movement) 과 같은 다양한 생산 공정의 특정 요구를 충족시키기 위해 다양한 부가 가치 기능이 포함되어 있습니다. 1100 은 포괄적인 스테퍼 기능을 통해 높은 정확도의 이미징 기술과 높은 처리량 (throughput) 어플리케이션을 모두 제공할 수 있습니다.