판매용 중고 ULTRATECH 1100 #9224143

ULTRATECH 1100은 사진 리소그래피 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 직경 4 "~ 8" 의 다양한 웨이퍼를 처리 할 수있는 기능이 있습니다. 스테퍼의 특허를받은 전동 헤드 스테이지 (Motorized Head Stage) 는 정확한 오버레이 및 스텝/반복 이미징을 위해 정확한 위치 지정 및 반복 가능한 웨이퍼를 정렬 할 수 있습니다. 1100의 진공 타이트 웨이퍼 던지기 장치 (vacuum-tight wafer throwing unit) 는 최대 웨이퍼 처리 정확도를 위해 설계되었으며 마이크로 테프 (microstep) 및 마이크로 다이내믹 (microdynamic) 동작을 수행하여 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 스테퍼에는 최대 300,000 럭스의 노출 수준을 지원하는 노출 장치 (Exposure Unit) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 다양한 노출 시간, 다양한 수준의 민감도가 가능합니다. ULTRATECH 1100에는 잠재 이미지 모니터, 레티클 어셈블리, 헤일로 감축을위한 기계식 셔터, 헬륨 흐름 교정기, 미세 입자 제어를위한 가스 분산 장치 등 여러 워크스테이션이 있습니다. 이 시스템에는 또한 서브 미크론 위치 정밀도가 가능한 정밀 웨이퍼 정렬 단계가 포함되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 x 축과 y 축의 오버레이 제어를 통해 일관성 있는 오버레이 (overlay) 및 적절한 패턴화를 보장할 수 있습니다. 1100은 24형 마스크를 사용하여 최대 16,000개의 단계를 수행할 수 있습니다. ULTRATECH 1100은 생산 어플리케이션을위한 매우 유연하고 안정적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 높은 노출 수준에서도 빠른 주기 시간과 정밀도를 제공합니다. 전동식 헤드 스테이지는 정확한 포지셔닝을 허용하며, 고급 도량형 및 검사 시스템은 중요한 정확성을 보장합니다. 또한, 각 단계/반복 주기는 모니터링되고 검증되며, 모든 용도에 일관된 성능을 보장합니다. 1100 은 다양한 운영 요구 사항을 충족하는 안정적인 성능, 유연성, 빠른 주기 시간을 제공합니다.