판매용 중고 ULTRATECH 1100 #9199939

울트라 테크 (ULTRATECH) 1100 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 제조하는 동안 패턴을 반도체 웨이퍼 표면으로 옮기는 데 사용되는 매우 정밀하고 컴퓨터 제어 도구입니다. 이 과정을 포토 리토 그래피 (photolithography) 라고하며, ULTRATECH는 투영 광학, 소프트웨어 기반 제어 및 진공 척 (vacuum chuck) 을 사용하여 작은 실리콘 웨이퍼에서 첨단 부품을 생성하는 데 필요한 정확한 제어를 가능하게합니다. 1100은 나노 미터 정확도로 웨이퍼를 이동하고 배치 할 수 있습니다. 이 정밀도 수준은 선 간격 (line spacing) 이 줄어든 패턴을 생성하는 데 사용할 수 있음을 의미합니다. 또한 정렬 공차가 작은 대형 웨이퍼의 고속 패턴화에 사용할 수 있으며, 고밀도 3D 디자인이 가능합니다. 웨이퍼 스테퍼에는 고급 투영 정렬 장비 (Advanced Projection Alignment Equipment) (APAS) 가 포함되어 있으며, 이는 웨이퍼와 레티클의 이미지를 모두 읽고 비교할 수 있어 최고 품질의 최종 제품을 보장합니다. 울트라 테크 1100 (ULTRATECH 1100) 은 석영, 폴리 이미 드 (polyimide) 및 크롬 (chrome) 으로 만든 레티클을 포함하여 다양한 레티클과 호환되며 다양한 응용 프로그램을 다룰 수있는 유연성을 제공합니다. 1100 년에는 처리 중에 기판을 고정하기위한 표준 12 인치 대형 직경 웨이퍼 처킹 시스템 (Wafer Chucking System) 도 제공됩니다. 이 단위는 wafer 가 아카이빙 프로세스 중에 slump 하거나 contort 되지 않도록 합니다. 또한, ULTRATECH 1100은 표면에서 일관된 이미지 품질을 보장하기 위해 자동 웨이퍼 포커스 머신을 갖추고 있습니다. 1100 은 현대 반도체 제작 플랜트에 필수적인 도구로서, 놀라운 정밀도와 기능을 제공하여 나노 규모의 3D 장치 패턴화에 적합합니다. 정교한 소프트웨어 기반 컨트롤, 고급 투사 정렬 도구, 대형 12 인치 척 (Chuck) 은 최적의 수확량과 최소 스크랩을 보장하는 뛰어난 결과를 제공합니다.