판매용 중고 ULTRATECH 1100 #9151421

울트라 테크 1100 웨이퍼 스테퍼 (ULTRATECH 1100 wafer stepper) 는 마이크로 리토 그래피 산업의 반도체 웨이퍼로 나노 배터린을 전송하는 데 사용되는 완전히 자동화되고 매우 정밀한 기계입니다. 이 스테퍼는 딥 -UV 레이저를 사용하여 기판 표면에 미세한 패턴 배열을 생성합니다. 장비는 스캐너와 엔드 스테이션의 두 가지 주요 부분으로 구성됩니다. 1100 스캐너에는 3 가지 단계 (투영 렌즈, 이미지 기록 단계 및 드롭다운 완화 단계) 가 포함됩니다. 투영 렌즈는 고강도 심자외선 레이저 (deep-UV laser) 에서 이미지 기록 단계에 위치한 마스크 (mask) 로 집중된 광선을 지시합니다. 이렇게 하면 장치 패턴이 기록 단계 (recording stage) 로 다시 만든 다음 자동으로 동기화된 방식으로 드롭다운 단계로 이동합니다. 이 스테퍼는 파장 248nm (이미지 해상도 0.25 미크론) 에서 작업하는 장점이 있습니다. 깊은 UV 레이저를 사용하기 때문에 ULTRATECH 1100은 나노 스케일 패턴을 20: 1의 종횡비 (aspect ratio) 로 구조로 옮길 수 있습니다. 원하는 패턴 크기에 따라 시스템의 레이저 펄스 길이 (8 ~ 32 마이크로초) 도 조정할 수 있습니다. 또한, 1100에는 머신 설정 프로세스를 자동화하는 프로세스 제어 계층이 있습니다. 이 기능은 수동 마스크 정렬 (manual mask alignment) 을 필요로 하지 않으며 실행 내내 일관된 프로세스 매개변수를 허용합니다. ULTRATECH 1100 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 최첨단 Optic을 장착하여 기계 수명 내내 높은 광학 성능을 유지합니다. 또한, 이 장치에는 잠재적인 고장을 감지하고 신뢰성 있는 작동을 보장하기 위해 자동으로 보상하는 안전 장치 (Safety Machine) 가 내장되어 있습니다. 1100은 Deep-UV 레이저 소스와 고급 옵틱을 사용하여 나노 스케일 패턴을 반도체 웨이퍼로 정확하게 전송하는 일체형 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 도구의 완전 자동화 (fully automated) 작업은 일관된 프로세스 매개변수를 허용하는 반면, 안전 자산은 안정적인 운영을 보장합니다. 울트라 테크 1100 (ULTRATECH 1100) 은 고급 기능과 비교할 수없는 정밀도로 인해 마이크로 리토 그래피 산업에 완벽한 선택입니다.