판매용 중고 ULTRATECH 1100 #9114895

ULTRATECH 1100은 고급 반도체 장치의 정밀 생산을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 고급 도구는 고품질 리소그래피 이미지를 생성하는 효율적이고 비용 효율적인 방법을 제공합니다. 이 기능은 포토리토그래피 이미지를 얇은 포토레지스트 (photoresist) 층에 정확하고 빠르게 배치하여 웨이퍼 (wafer) 제작 시간을 줄입니다. 1100 (1100) 에는 화질을 최적화하고 성능을 향상시키는 디자인의 원활한 컨투어 옵티컬 장비가 포함되어 있습니다. 필드 스톱 범위는 10-12mm이며, 최대 노출 면적은 8x6 인치입니다. 또한, 각 photolithography 이미지의 정확한 배치를 보장하는 자동 정렬 단위가 있습니다. 고급 원격 중심 광학 장치 (Telecentric Optics) 및 가변 수치 조리개 (Variable Numerical Aperture) 기능을 사용하여 여러 층의 포토 esist를 가장 정확하고 효율적으로 정렬합니다. 이 기계는 또한 시장에서 사용할 수있는 가장 높은 수치 조리개 (NA) 를 특징으로하며, 최대 0.575에 도달하여 복잡한 패턴과 미세한 선 모양의 고해상도 인쇄를 허용합니다. 이를 통해 장치에서 매우 작은 기능을 생산할 수 있습니다. 또한, 기계는 원하는 photoresist 레이어에 대해 균등하고 일관된 UV 광 노출을위한 쿼츠 렌즈 요소를 가지고 있습니다. 기계는 또한 광석기 배치 (photolithography placement) 의 정확성을 보장하기 위해 고급 기판 스테이징 기계를 가지고 있습니다. 또한 자동, 자동 작동을 가능하게하는 통합 기판 처리 도구가 있습니다. 이 에셋을 사용하면 컴퓨터에서 웨이퍼를 설정하고 배치하는 데 소요되는 시간을 줄일 수 있습니다. 또한 ULTRATECH 1100에는 완전 통합 프로세스 데이터 검증, 충격 및 진동 수준을 모니터링하는 디지털 가속도계 (Digital Accelerometer to monitor shock and vibration level), 사전 작업을 저장하고 검토하는 고급 데이터베이스, 포토레시스트의 각 레이어를 미리 보는 웨이퍼 이미징 모델, LED 조명 지원 등의 여러 가지 고급 소프트웨어 기능이 있습니다. 성능 향상. 이 모든 기능을 결합하여 1100 은 현재 시판되고 있는 가장 효율적이고 안정적인 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 입니다.