판매용 중고 ULTRATECH 1100 #9023150

ULTRATECH 1100은 최고 수준의 성능과 생산성을 달성하도록 설계된 풀 필드 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 듀얼 스테이지, 선형 모터 구동 스캐너 스테이지 (scanner stage) 를 사용하여 고속, 저진동 및 높은 정확도 패턴 솔루션이 가능합니다. 이 시스템은 80kHz 레이저 펄스를 사용하는 광학 유도 빔 전달 장치를 사용합니다. 이 레이저는 높은 정확도, 매우 안정적인, 레이저 간섭법 (interferometry) 단위와 결합하여 웨이퍼를 정확하게 찾아 서브 미크론 배치 정확도를 달성합니다. 1100 웨이퍼 스테퍼는 또한 빠른 웨이퍼 처리를 위해 전용 웨이퍼 프로세스 챔버를 갖추고 있습니다. 이 공정 챔버는 저전력 이온 빔 소스를 사용하여 매우 균일한 측면 벽 각도 (side-wall angle) 와 오버행 보호 (overhang protection) 를 가진 패턴을 에치합니다. 또한 ULTRATECH 1100 은 스캐닝 패턴을 최적화하고 기능 크기 정확도, 배치 정확도, 처리량 등에 초점을 맞춘 지능형 소프트웨어를 제공합니다. 이 소프트웨어는 까다로운 설계 (design) 기능을 탐색하고 다양한 디자인 스타일을 지원할 수도 있습니다. 또한 강력한 데이터 로그 (log log) 및 분석 도구를 통해 반복 가능하고 안정적인 패턴화를 보장합니다. 1100 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 또한 웨이퍼에서 고해상도 곡선 기능을 빠르게 트래버스하여 디자이너가 더 높은 성능과 프로세스 안정성을 달성 할 수있는 곡면 패턴 기능을 제공합니다. 또한 최적화된 저항 동작, 고해상도 이미지 지원, 미세 피치 (Fine Pitch) 어플리케이션 지원 등을 제공합니다. 또한 ULTRATECH 1100 은 원격 제어 및 모니터링 (monitor) 기능을 제공하여 Wafer 프로세스를 모니터링하고 모든 위치에서 원격으로 프로세스 최적화를 시작할 수 있습니다. 따라서 수작업을 수행하지 않고도 웨이퍼 처리량을 극대화할 수 있습니다. 또한 1100 은 고급 보안 기능을 통해 모든 프로세스를 안전하게 보호할 수 있습니다. 이 시스템은 표준 감사 추적 (audit trail) 및 로그 관리 (log management) 툴을 통해 고객 데이터의 무결성과 보안을 보장합니다. 전반적으로 ULTRATECH 1100 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 엔지니어가 적은 스트레스와 노력으로 고밀도, 고품질 구성 요소를 생산할 수 있도록 강력하고 안정적인 도구입니다. TCO (총소유비용) 및 검증된 신뢰성 (신뢰성) 을 결합한 첨단 기능을 통해 모든 운영 라인에서 탁월한 선택이 가능합니다.