판매용 중고 ULTRATECH 1100 #158786

ULTRATECH 1100 Wafer Stepper는 반도체 제조 및 고급 연구 응용 프로그램에 사용되는 고성능 석판화 장비입니다. 이 시스템은 강렬한 자외선을 사용하여 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 및 기타 기판에 고해상도 이미지를 만드는 데 사용됩니다. 1100 은 고급 패턴화 (patterning) 및 노출 (exposure) 기술을 탑재하여 뛰어난 이미지 해상도와 탁월한 정렬 정확도를 제공하며, 기존의 스테퍼 (stepper) 제약에 관계없이 일관된 결과를 제공합니다. ULTRATECH 1100의 주요 구성 요소에는 기계적 스캔 단계, 광원, 마스크 (레티클) 및 검출기가 포함됩니다. 스캐닝 단계는 노출 정확도와 처리량을 최대화할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 고급 정렬 장치 (advanced alignment unit) 를 사용하면 기계가 다양하고 복잡한 패턴 설계에 대해 정확한 노출을 수행할 수 있습니다. 이 스테퍼의 통합 광원은 강렬하고 일관된 UV 정의 광원 (UV Defined Light) 을 생산할 수 있도록 설계되었으며, 뛰어난 이미지 해상도를 보장하기 위해 탁월한 이미지 노출을 제공합니다. 통합형 고성능 마이크로 (micro) 정렬기를 통해 가장 복잡한 마스크 설계를 정확하게 노출할 수 있습니다. 이 검출기는 검사, 웨이퍼 바이 웨이퍼 (wafer-by-wafer) 노출 제어 및 검증, 실시간 스테퍼 성능 모니터링 및 분석을 위한 노출 데이터를 제공하도록 설계되었습니다. 1100 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 에는 확장 정렬 (extended aligner) 기능과 자동 노즐 정렬 등 다양한 옵션이 장착되어 있으며, 둘 다 향상된 처리량 및 노출 정확도를 제공합니다. 이 도구는 모듈식 아키텍처를 갖추고 있으며 200mm, 300mm 및 450mm 웨이퍼를 포함한 다양한 웨이퍼 크기와 응용 프로그램을 처리 할 수 있습니다. 이 고급 석판화 자산 (Advanced Lithography Asset) 은 종합적인 생산 환경에 통합하는 기능을 통해 탁월한 처리 성능과 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 기판 비용을 줄이고 처리량을 늘리는 한편, 뛰어난 이미지 해상도, 탁월한 편광 제어, 탁월한 이미지 결함 제어 기능 등을 제공합니다. ULTRATECH 1100 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 직관적인 시각적 인터페이스를 제공하여 프로세스 데이터에 쉽게 액세스하고 쉽게 변경할 수 있습니다. 이 모델은 또한 다양한 도량형 및 검사 시스템과 호환되도록 설계되었습니다. 이 장비는 ULTRATECH 응답 고객 서비스 (Responsive Customer Service) 에서 지원되므로 사용자가 발생할 수 있는 문제를 신속하게 해결할 수 있습니다.