판매용 중고 ULTRATECH 1014 #3278

ULTRATECH 1014 웨이퍼 스테퍼는 대용량 리소그래피 및 도량형 생산을 위해 설계된 풀 필드, 고급 UV 노출 도구입니다. 이 다기능 플랫폼은 고급 마이크로 일렉트로닉 장치 (microelectronic device) 개발과 관련하여 탁월한 성능, 품질, 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 1014는 0.5 미크론 해상도 (0.5 미크론 Resolution) 및 25nm 에지 스티칭 (Edge Stitching) 정확도로 패턴을 생산할 수 있으므로 장치 제조업체가 업계에서 가장 높은 처리량과 생산성을 달성할 수 있습니다. 300mm/12 인치 웨이퍼 필드 크기와 5Kw/12.5Kw 용량 가용성으로 인해 대용량 장치 및 고밀도 장치에 적합합니다. ULTRATECH 1014에는 뛰어난 초점 깊이 (DOF) 및 웨이퍼 측면 왜곡이 가능한 ULTRAFOUCS 기술이 장착되어 있습니다. 이 기술은 혁신적인 "링 필드 (ring field)" 렌즈 시스템 및 기타 고급 기능을 사용하여 0.25 미크론 라인/공간 패턴에 비용 효율적인 강력한 리소그래피를 제공합니다. 1014는 또한 뛰어난 노출 유형 안정성과 최대 수율을 제공하도록 설계되었습니다. 접촉 (contact), 근접 (elimity) 및 이동 (shift) 노출과 같은 가변 노출 유형이 지원되므로 사용자가 결함이 적은 웨이퍼를 생성할 수 있습니다. 또한 프로세스를 실시간으로 모니터링 할 수있는 내장 도량형 시스템을 갖추고 있습니다. ULTRATECH 1014는 노출 및 도량형 (metrology) 기능 외에도 다양한 자동화 및 제어 옵션도 제공합니다. 사용자는 FLEX 처리 시스템을 사용하여 시스템을 프로그래밍하여 특정 요구 사항에 따라 설정 (settings) 을 자동으로 조정할 수 있습니다. 최적의 노출 조건을 개발하는 데 도움이 되는 자동 최적화 (Automated optimization) 도구도 제공됩니다. 또한 1014 는 고급 비전 시스템 (Advanced Vision System) 으로 설계되었으며, Wafer 생산의 모든 측면에 대한 상세한 이미지를 사용자에게 제공합니다. 검사가 진행되는 동안 특히 유용하게 사용할 수 있습니다. 이 경우 '문제 해결' 을 신속하게 수행할 수 있습니다. 전반적으로, ULTRATECH 1014는 최적으로 설계된 웨이퍼 스테퍼로, 사용자에게 최고 수준의 품질, 처리량, 신뢰성을 제공합니다. 고급 이미징 및 도량형 시스템은 사용자가 최고 수준의 성능, 생산성, 정확성을 얻을 수 있도록 합니다.