판매용 중고 ULTRATECH 1000W #45712

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ULTRATECH 1000W
판매
ID: 45712
빈티지: 1985
stepper, Retrofit 4" stage to 6" Currently stored in a warehouse 1985 vintage.
울트라 테크 1000W (ULTRATECH 1000W) 는 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로서 반도체 기판으로 회로 패턴을 전송하기 위해 반도체 제조에 사용되는 석판 장치의 한 유형입니다. 1000W는 35mm 필름 형식의 경우 최대 160 um, 석판 디스플레이의 경우 8.5 um 스팟 크기의 레이저 조명 노출 영역을 갖춘 고급 이미징 기능을 갖추고 있습니다. 또한 ULTRATECH 1000W에는 자동 웨이퍼 프로브 (auto wafer probe) 와 고성능 자동 정렬 모터 (auto alignment motor) 가 포함되어 있어 광석기 제작 및 프로토타입에 유용한 도구입니다. 1000W에는 최대 4 개의 웨이퍼를 수용하는 자동 웨이퍼 처리 장비가 있으며, 이동 중에 기판을 보호하기 위해 버블 실링 챔버 (bubble-sealing chamber) 가 내장되어 있습니다. 이 시스템은 고 수율 처리 (high-yield processing) 및 향상된 에지 등록 (edge registration) 을 통해 기판 전체에 균일 한 필름 두께를 보장합니다. 자동 웨이퍼 처리 장치에는 0.1 um 이상의 웨이퍼 정렬 반복 기능도 있습니다. 또한, 냉각 제트기는 기계에 통합되어 노출 중 주변 온도 수준을 일관되게 유지합니다. 또한 ULTRATECH 1000W에는 높은 수준의 UV 레이저 도구가 포함되어 있어 까다로운 노출 어플리케이션을 위한 최대 20mW의 고전력 조명을 제공합니다. 노출 자산은 0.5 ~ 4 초의 노출 시간을 허용하며, 정밀 노출 시간은 0.01 초입니다. 또한, 1000W에는 자동 노출 교정 모델이 있어 스팟 크기 (spot size), 노출 시간 (exposure time) 및 용량 (dosage) 을 포함한 모든 노출 매개변수가 노출 전에 공차 내에 있어야 합니다. 또한 ULTRATECH 1000W 는 포괄적인 소프트웨어/하드웨어 제어 옵션을 제공하며, 이를 통해 최적의 결과를 얻을 수 있도록 장치를 사용자 정의하고 제어할 수 있습니다. 사용자는 노출 시간 및 용량에 대한 전체 노출 매개변수 제어 (full exposure parameters control) 와 확대 이미징에 대한 노출 속도 조정 (exposure speed adjustment) 을 액세스할 수 있습니다. 또한 1000W에는 자동으로 웨이퍼를 로드하고 언로드하여 설정 시간을 줄이고 전체 처리량을 향상시키는 FlexSpin 자동 로더 및 언로더 기능이 있습니다. 울트라테크 (ULTRATECH) 1000W 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 현대 반도체 산업의 요구를 충족시켜 비용 효율적이고 안정적인 패키지에서 높은 노출 정확성과 제어를 제공합니다. 다기능 기능 세트와 사용자 친화적 제어 (user-friendly control) 옵션을 통해 업계 및 연구 환경 모두에 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다.
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