판매용 중고 ULTRATECH 1000 #9259720

ID: 9259720
빈티지: 1984
Stepper 1984 vintage.
ULTRATECH 1000은 집적 회로 제작에 사용되는 최첨단 고해상도 웨이퍼 스테퍼입니다. 스테퍼에는 자동 작동 장비, 매우 빠른 스캔 속도, 매우 정확한 정렬 시스템이 있습니다. 다른 여러 경쟁 모델보다 높은 처리량과 향상된 해상도를 제공하도록 설계되었습니다 (영문). 기계는 웨이퍼 상의 거의 모든 레이아웃을 재생산하는 데 사용될 수 있으며, 웨이퍼 (wafer) 를 스테퍼 X-Y (stepper X-Y) 단계에서 원하는 위치로 빠르게 이동할 수 있습니다. 이는 스텝 모터를 제어하여 웨이퍼를 X (크로스 스캔), Y (긴 스캔) 및 Z (포커스) 의 세 가지 축으로 이동합니다. 이 정밀도를 사용하면 3차원 제품을 만들 때 레이어를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이 스테퍼는 또한 고속 X-Y 스캔 단계를 특징으로하며, 이를 통해 이전 모델보다 최대 1000 배 빠른 영역을 스캔 할 수 있습니다. 스테퍼 (stepper) 는 제조 중인 회로의 원하는 화질과 복잡성에 따라 4 가지 해상도로 이미지를 웨이퍼 (wafer) 로 전송할 수 있습니다. 이것은 고급 광학 장치 (Optics Unit) 에 의해 활성화되며, 이를 통해 10nm 이상의 해상도를 가진 이미지를 제작할 수 있습니다. ULTRATECH 1000의 또 다른 주요 기능은 레이어 정렬을위한 고급 기계입니다. 이 도구는 fiducial 에셋으로 구성되며, 다양한 레이어의 웨이퍼를 정확하게 정렬하는 데 사용되며, 이미지 오버레이 (image overlay) 모델뿐만 아니라 빠르고 정확한 웨이퍼-웨이퍼 (wafer-to-wafer) 정렬을 수행합니다. 마지막으로, 1000 은 CNC (Computer Numerical Control) 장비와 연계되어 있어 사용자 친화적인 운영을 제공하며, 주로 자동화되고 사용하기 편리합니다. CNC 는 작동 시간 을 최소화 하고, 동시 에 기계 의 정확도 와 신뢰성 을 높인다. 결론적으로, ULTRATECH 1000 은 고도로 향상된 웨이퍼 스테퍼로서, 시장의 경쟁 모델에 비해 높은 처리량과 향상된 해상도를 제공합니다. 복잡한 집적 회로 (complex integrated circuit) 를 만드는 데 적합하지만, 자동화되고 사용자 친화적입니다.
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