판매용 중고 ULTRATECH 1000 #9217207

ULTRATECH 1000은 ULTRATECH에서 제조 한 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 레지스트 스트리핑 (resist stripping), 증착 (deposition), 에칭 (etching), 접촉 인쇄 (contact printing) 등 다양한 사진 분석 프로세스에 사용되는 다용도 기계입니다. 스테퍼는 2 축 XY 스테이지와 하위 미크론 정확도, 미세 위치 지정 및 정렬 기능으로 구성됩니다. 이 장비는 200 mm에서 375 mm 사이의 기판 크기를 처리 할 수있는 고해상도 이미징 기능을 제공합니다. 1000 에는 정확한 정렬을위한 고급 전동 단계, 기판 배치를위한 XY 진공 척, 비접촉, 실시간 정렬을위한 닫힌 루프 레이저 계측 시스템이 포함됩니다. 스테퍼는 토크 (torque) 가 높고 응답 속도가 빠른 고급 선형 모터를 사용하여 뛰어난 속도와 정확도를 제공합니다. 또한이 장치는 고출력 LED 조명을 사용하여 최적의 노출 정확성을 보장합니다. ULTRATECH 1000에는 세밀한 이미지 정확도와 품질을 위해 컴퓨터 제어 레이저 자동 초점 머신이 장착되어 있습니다. "레이저 '자동 초점 은 작은" 이미지' 이상 을 탐지 하여 전체 시야 에 걸쳐 정확성 을 보장 할 수 있다. 또한, 스테퍼에는 스테이지를 움직이지 않고 정확한 위치를 지정할 수있는 고급 디지털 서보 피드백 (advanced digital servo feedback) 도구가 제공됩니다. 웨이퍼 스테퍼는 또한 고급 저항 및 에치 최적화 (etch optimization) 를위한 고도로 프로그래밍 가능한 광학 및 노출 시스템을 갖추고 있습니다. 광학 자산은 다양한 렌즈와 필터를 사용하여 적절한 노출을 보장합니다. 노출 모델은 광도 (light intensity), 지속 시간 (duration), 초점 범위 (focus range) 와 같은 노출 매개변수를 변경하여 다양한 응용 프로그램에 원하는 용량을 제공 할 수 있습니다. 1000은 하이브리드 드라이브 장비를 활용하여 무결점 작동을 최적화합니다. 이 기능은 시스템이 최소 마찰과 진동 (Vibration) 을 통해 작동하도록 하며, 뛰어난 정확도와 속도를 제공합니다. 또한이 장치에는 고급 제어 소프트웨어 제품군이 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어는 프로세스 설정 및 제어를 위한 사용하기 쉬운 기능을 제공하며, 내부 메모리에 작업 (job) 프로그래밍 및 프로세스 레시피 저장을 지원합니다. ULTRATECH 1000은 다양한 photolithographic 프로세스에 사용될 수있는 견고한 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 선형 모터, 초정밀 레이저 자동 초점, 광학 기계, 통합 제어 소프트웨어를 갖춘 1000 은 웨이퍼 처리 (wafer handling) 및 리소그래피 (lithography) 어플리케이션에 적합합니다.