판매용 중고 ULTRATECH 1000 #9214696

ULTRATECH 1000은 웨이퍼 제작에서 리소그래피 서비스를 제공하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이것 은 물리적 "패턴 '을 취하여 각 개별" 웨이퍼' 에 옮길 수 있는 매우 정확 한 도구 이다. 스테퍼는 웨이퍼를 자동 정렬하고, 정확하게 초점을 맞추고, 각 응용 프로그램에 대해 정확한 가장자리 배치를 달성하도록 설계되었습니다. 1000 개에는 뛰어난 조리개 마스크 이미징 시스템이 있으며, 이는 주요 특징 중 하나입니다. 다양한 마스크 플렉스 플러스 레티클 핸들러 (MaskFlex Plus reticle handler) 가 있어 다양한 레티클을 쉽게 처리 할 수 있습니다. 또한 "스테퍼 '에는 정밀 한" 패턴' 배치 를 할 수 있는 자동 "렌즈 '위치 장치 가 있다. ULTRATECH 1000은 효율성과 생산성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 사용자는 최대 3 개의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있으며 기존 웨이퍼 처리 시스템에 통합 할 수 있습니다. 스테퍼는 또한 SOI, 다공성 SiO2, 스퍼터링, 연마 또는 치료되지 않은 다양한 유형의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 1000 은 레티클 이미징, 정렬 도구 지원, 스테퍼 제어, 레시피 서버, 다중 작업, 자동 웨이퍼 교환, 자동 청소 등 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 깊은 UV, DUV (deep ultra-violet), i-line, KrF, e-beam 및 다중 리소그래피 기술을 포함한 다양한 노출 기술을 사용할 수 있습니다. 스테퍼는 최대 해상도 5 미크론 (micron) 으로 작동하도록 제작되었으며 100mm 직경의 여러 레티클 형식을 지원합니다. 노출 시간이 매우 빠르며 시간당 최대 300 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. ULTRATECH 1000은 작동이 매우 간단하고 신뢰성이 뛰어납니다. 즉, 유지 보수 요건을 줄이고, 예기치 않은 비용을 방지할 수 있도록 설계되었습니다. "실수 (실수) '나" 손상 (손상)' 을 최소화하는 안전 기능이 내장되어 있고, 오작동이나 오류를 신속하게 감지할 수 있는 고급 진단 기능도 내장되어 있습니다. 전체적으로 1000 개는 라인 웨이퍼 스테퍼 (Line Wafer Stepper) 의 상단이며, 디자인과 패턴을 웨이퍼로 정확하고 정확하게 전달 할 수 있습니다. 한 번에 여러 개의 웨이퍼를 효율적으로 처리하는 빠른 노출 시간 (fast exposure time) 과 능력 (ability) 은 대규모의 주문을 적시에 처리하는 데 이상적입니다.