판매용 중고 ULTRATECH 1000 #9198399
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ULTRATECH 1000은 ULTRATECH Corporation에서 제조 한 웨이퍼 스테퍼로, 포토 마스크 및 웨이퍼 처리를 위해 설계되었습니다. 0.5 미크론의 해상도와 0.1 미크론의 스텝 크기를 가진 매우 정확하고 정확한 기계입니다. X 축과 Y 축 모두에 대한 서브 미크론 이동을 가능하게하는 고정밀, 고관리 3축 드라이브 시스템, 광범위한 응용프로그램을 수용하는 매우 낮은 열 드리프트 (thermal drift) 가 특징입니다. 1000에는 다른 웨이퍼 스테퍼와 분리되는 몇 가지 기능이 있습니다. 스캐닝 (Scanning) 또는 전송 패턴 (Transfer Pattern) 시 웨이퍼의 고정밀 정렬 및 위치를 허용하는 5축 스테이지가 장착되어 있습니다. 또한 5축 단계를 통해 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 프로세스 중에 여러 마스크를 배치할 수 있습니다. 또한 ULTRATECH 1000에는 정확하고 정확한 패턴 위치와 형상을 보장하는 고정밀도 자동 초점 카메라가 있습니다. 1000 은 또한 정전기 척 (electrostatic chuck) 을 특징으로하며, 정전기 (electrostatic chuck) 는 정전기 (sensitive wafer) 보유 및 정확한 위치 및 방향을 위해 웨이퍼 (wafer) 의 패턴 정렬 표시를 허용합니다. 정전기 척은 또한 처리 중 웨이퍼의 원치 않는 동작을 줄이는 데 도움이됩니다. ULTRATECH 1000은 photolithography 및 oxide etch를 포함한 광범위한 웨이퍼 스테퍼 프로세스를 실행할 수 있습니다. 뛰어난 해상도, 높은 유지 보수, 낮은 드리프트, 다중 마스크 배치 가능성을 통해 마이크로 및 나노 일렉트로닉스 (nanoelectronics) 와 같은 애플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다. 결론적으로, 1000은 뛰어난 정확성과 신뢰성을 제공하는 매우 정확한 웨이퍼 스테퍼입니다. 여러 가지 기능을 통해 광범위한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 응용 프로그램을 처리 할 수 있으며 5 축 스테이지는 웨이퍼 및 마스크의 정밀한 정렬을 보장합니다. 정전기 "척 '은 불필요 한 운동 을 감소 시키는 데 도움 이 되며," 웨이퍼' 를 안전 하게 보관 한다. 이러한 모든 기능과 기능을 통해 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 요구 사항을 충족하는 최적의 비용 효율적인 솔루션을 원하는 기업에게 적합한 솔루션입니다.
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