판매용 중고 ULTRATECH 1000 #9187105

ULTRATECH 1000은 5축 스테이지 인덱서가 장착 된 컴퓨터 제어 웨이퍼 스테퍼입니다. 스테퍼는 필요한 모든 프로세스를 실행하여 노출에 대한 웨이퍼를 정확하게 배치하며, 정적 (static) 및 동적 (dynamic) 정렬 옵션을 모두 포함합니다. 이 기계는 최첨단 고속 모터를 사용하여 정확한 웨이퍼 이동 (wafer movement) 과 모든 작업에서 가장 정밀하게 작동합니다. 1000 의 구조는 견고한 재질로 만들어져 있어, 내구성과 안정성을 극대화합니다. ULTRATECH 1000은 쉽게 작동할 수 있도록 사용자에게 친숙한 컨트롤러 인터페이스를 갖추고 있습니다. "와퍼 '의 크기 에 관계 없이 가장 정확 한 정렬 과" 이미지' 배치 를 할 수 있다. 이는 정확한 스테퍼 모터, 고해상도 인코더, 최첨단 스캔 제어 장비 덕분입니다. 스테퍼는 평평하거나 에칭 된 웨이퍼를 모두 이미징 할 수 있습니다. 최고 정확도를 위해 1000 은 고급 이미징 시스템 (advanced imaging system) 을 사용하며, 이 시스템은 웨이퍼 기능의 모든 뉘앙스를 정확하게 감지할 수 있습니다. 가장 높은 수준의 정확도를 보장하기 위해 스테퍼는 새로운 렌즈 단위 (New lens unit) 를 사용합니다. 이 장치는 소위 오버레이 오류와 같은 프로세스 매개변수의 발생을 최소화합니다. 또한, 이 강력한 스테퍼는 프로세스의 일부가 신뢰할 수 없거나 올바르지 않으면 웨이퍼 (wafer) 를 신속하게 다시 이미지화할 수 있습니다. ULTRATECH 1000에는 자동 로드 머신도 장착되어 있어 웨이퍼를 손쉽게 로드 및 언로드할 수 있습니다. 이 도구는 웨이퍼의 반지름을 감지하고 변위를 자동으로 조정하는 광센서를 사용합니다. 또한 서보 제어 암을 사용하여 로딩 중에 웨이퍼가 올바르게 장착되도록 합니다. 컨트롤러 1000은 해상도, 노출 시간, 전원 설정을 정확하게 조작할 수 있습니다. 또한 패턴 검토, 자동 정렬, 메모리 저장 기능 등 자동화를 위한 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 요약하자면, ULTRATECH 1000은 강력한 중고급형 웨이퍼 스테퍼로, 가장 정확하고 정확한 노출용 웨이퍼 포지셔닝을 위해 설계되었습니다. 최대한의 정확성, 사용자 친화적 컨트롤러 인터페이스, 자동 로드 장비, 패턴 검토 (pattern review), 자동 정렬 (auto alignment), 메모리 저장 기능을 위한 다양한 자동화 기능을 갖춘 고급 이미징 에셋이 제공됩니다.