판매용 중고 ULTRATECH 1000 #9151433

ULTRATECH 1000 웨이퍼 스테퍼는 반도체 웨이퍼에서 작은 전도성, 유전성 및 절연 기능을 얇게 패턴화하도록 설계된 고성능 리소그래피 장비입니다. 고급 광자 이미징 (photon imaging) 기술을 채택하여 높은 처리량과 정확한 피쳐 배치 (feature placement) 를 유지하면서 생산 환경에서 최고의 해상도를 달성합니다. 1000은 독점적 인 전자 빔 유도 증착 (EBID) 시스템으로 뛰어난 이미지 해상도를 달성합니다. 이 단위는 단색 빛의 일관된 에너지 스프레드 (energy spread) 를 수직 통합하여 웨이퍼에 재료를 선택적으로 증착시킵니다. 증착 층은 정확한 패턴을 형성하여 리소그래피에 사용 된 마스크를 정확하게 재현합니다. 기계는 대량의 기판을 정확하고 빠르게 처리하도록 설계되었습니다. 다양한 웨이퍼 크기와 기판을 수용하는 단일 웨이퍼 로드 포트 (single-wafer load port) 가 특징입니다. 이렇게 하면 귀중한 생산 시간이 절약되고, 기판 로드 및 언로드와 관련된 비용이 절감됩니다. ULTRATECH 1000의 자동화 기능도 높은 처리량을 제공합니다. 로봇 암은 로드 포트에서 웨이퍼를 삽입 및 읽어들여 처리 주기를 신속하게 수행할 수 있습니다. Wafer 배치는 완전한 리소그래피 작업 흐름의 일부로 고급 웨이퍼 추적 (wafer-tracking) 기술을 사용하여 자동화됩니다. 즉, 여러 웨이퍼를 병렬로 처리하여 처리량을 높이고 시간을 절약할 수 있습니다. 처리량을 더욱 향상시키기 위해 1000 은 고급 제어 기능을 갖추고 있습니다. 모든 프로세스는 기계 흔들림 (machine shaking) 또는 열 팽창 (thermal expansion) 으로 인한 오차를 감지하고 수정하기 위해 전자적으로 모니터링됩니다. 도구의 진동 제어 에셋을 사용하여 기계 진동을 분리 할 수도 있습니다. ULTRATECH 1000도 쉽게 작동할 수 있도록 설계되었습니다. 자동화된 포지셔닝 모델은 모든 환경 효과 (environmental effects) 를 고려하여 생성된 패턴이 리소그래피 (lithography) 에 사용된 마스크와 동일한지 확인합니다. 또한, 이 장비에는 직관적인 메뉴 기반 사용자 인터페이스가 제공되어 설치와 작동이 간편합니다. 전반적으로 1000 개는 반도체 웨이퍼에서 작고, 정확도가 높은 기능을 생산하기 위한 강력하고 고도의 고급 도구입니다. 탁월한 이미징 기술, 신속한 자동화, 유연한 제어 기능을 통해 뛰어난 처리량, 해상도, 정확도를 제공합니다.