판매용 중고 ULTRATECH 1000 #9004070
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ULTRATECH 1000 웨이퍼 스테퍼는 고해상도 사진 해설을 위해 설계되었습니다. 1 미크론 세타 스테이지 (theta stage) 를 사용하여 웨이퍼에 마이크로 미니어처 패턴을 매우 정확하게 정렬하고 배치 할 수 있습니다. 1000은 듀얼 카메라 이미징 시스템 (Dual-Camera Imaging System) 과 각 사진 레이어의 노출 수준을 자동으로 조정할 수 있는 고유한 밝기 제어 기능을 갖춘 매우 정교한 광학 장비를 갖추고 있습니다. 울트라텍 1000 (ULTRATECH 1000) 에는 웨이퍼의 다른 노출 필드 사이에서 빠르게 회전할 수 있는 초고속 공명 스캐너가 장착되어 있습니다. 또한 특허 출원 중인 고급 이미지 변환 알고리즘을 통해 웨이퍼 이미지 (wafer image) 의 정밀도를 높입니다. 이 알고리즘은 노출 과정에서 웨이퍼 표면 (wafer surface) 이나 온도의 약간의 변화로 인해 자동으로 왜곡을 보상합니다. 또한 스테퍼에는 다양한 노출 설정에 대한 특허를받은 TurboChromatic 이중 파장 LED 광원이 있습니다. 스테퍼에는 4 축 스캐닝 헤드, 가변 깊이 스캐너, 특허를받은 AZS (Advanced Zone Scanning) 기능과 같은 높은 정확도에 기여하는 여러 가지 다른 기능도 장착되어 있습니다. AZS 기능은 사용자에게 웨이퍼 (wafer) 에 다른 zone 을 스캔할 수 있으므로 노출 범위를 늘릴 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 노출 수준과 설정을 정기적으로 조정할 수 있는 "보정 장치 (calibration unit) '가 내장되어 있습니다. 1000 은 또한 노출 필드의 고유한 내장 (내장) 신뢰성 동기화를 통해 프로덕션 환경에서 사용하기에 적합합니다. ULTRATECH 1000 웨이퍼 스테퍼에는 Windows 기반 비디오 그래픽 작업 소프트웨어 및 그래픽 사용자 인터페이스와 같은 사용자 친화적 인 기능이 있습니다. 이 인터페이스를 사용하면 노출 설정을 쉽게 제어할 수 있으며, 단일 포인트 (single point) 또는 다중 포인트 (multiple point) 노출을 통해 작동할 수 있습니다. 또한, 스테퍼에는 겹치는 노출로 인해 화이트 워시 효과를 줄이는 데 도움이되는 독점적 인 동기화 스프레딩 머신 (Synchronized Spreading Machine) 이 있습니다. 전반적으로, 1000 웨이퍼 스테퍼는 정교하지만 사용자 친화적 인 기계로, 고도의 정밀 광 석기 공정을 가능하게합니다. 듀얼 카메라 이미징 도구, AZS 기능 및 기타 여러 기능을 갖춘 ULTRATECH 1000은 프로토 타입, 생산 및 웨이퍼 레벨 패키징 어플리케이션을위한 뛰어난 재생성과 해상도를 제공하는 엔터프라이즈급 웨이퍼 스테퍼입니다.
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