판매용 중고 ULTRATECH 1000/ 1100/ 1500 #9111083
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울트라 텍 (ULTRATECH) 의 ULTRATECH 시리즈 리소그래피 머신 (lithography machine) 은 사진 촬영 처리의 세계 리더이며 도입 이후 업계 표준이되었습니다. ULTRATECH 1000/1100/1500은 모든 세대의 고성능 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 스캐닝 장비로, 많은 수의 소형 (또는 대형) 칩 패턴을 만드는 데 적합합니다. ULTRATECH 웨이퍼 스테퍼는 짧은 주기 시간과 빠른 처리량을 가진 스테퍼 시스템입니다. 동작 제어 장치 (motion control unit) 는 부드럽고 정확한 동작을 위해 정밀 선형 모터를 사용하여 높은 정밀도 오버캔을 보장합니다. 레이저 스캐너 (Laser scanner) 는 프로세스 최적화를 위해 더욱 정확한 스캔 초점과 레티클 마스킹을 위한 저렴한 비용을 제공합니다. 1000/1100/1500은 또한 이미지 전송 정확도를 최적화하기 위해 통합 사전 정렬 (pre-alignment) 및 사후 정렬 처리 (post-alignment processing) 를 포함한 고급 이미지 처리 방법을 제공합니다. 또한 ULTRATECH는 직관적인 GUI를 갖춘 소프트웨어를 통해 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. 이 기계에는 대형 LCD 터치 패널이 장착되어 있어, 운영자가 쉽게 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 통합 레시피 편집기 (Integrated Recipe Editor) 가 포함되어 있어 사용자 정의 처리 레시피를 빠르고 쉽게 만들 수 있습니다. 또한 ULTRATECH 시리즈는 정확도가 높은 정렬 머신 (alignment machine) 을 제공하므로 중요한 오버레이 정보를 정확하게 집중하고 검색할 수 있습니다. 정렬 도구를 구성하는 자석과 모터는 안정적이고 정확한 성능을 보장합니다. ULTRATECH 시리즈는 최대 5 - 10 um 해상도로 인쇄 할 수 있습니다. 이 기계는 시간당 최대 250 웨이퍼 (wafer) 의 처리율을 지원하므로 대용량 생산에 적합합니다. 반복성은 정확한 일괄 처리 동작 제어를 보장합니다. 전반적으로 ULTRATECH 1000/1100/1500 웨이퍼 스테퍼는 칩에서 회로를 패턴화하는 고성능, 비용 효율적인 사진 분석 도구입니다. 높은 정확성과 반복성으로, 매번 정확한 칩 패턴을 보장합니다.
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