판매용 중고 ULTRASTEP 900 #9224580

제조사
ULTRASTEP
모델
900
ID: 9224580
Laser system.
ULTRASTEP 900은 반도체 산업에서 사용되는 이미징 장비입니다. 집적 회로 (IC) 제작을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 시스템은 고해상도, 와이드 포맷 스테퍼와 절대 측정 단위를 결합합니다. 스테퍼는 매우 정밀한 이미징 머신을 제공하도록 설계되었으며, 기능을 0.25äm까지 해결할 수 있습니다. 두 개의 동기화된, 반회전 스캔 미러를 사용하여 매우 높은 정확성과 반복성을 보장합니다. "미러 '들 은 매우 정확 한 정확성 으로" 빔' 무늬 를 반도체 "웨이퍼 '에 빠르고 정확 하게 배치 할 수 있다. 900은 뛰어난 이미지 명암과 낮은 결함 속도로 설계되었습니다. 광학 도구는 완벽한 이미징 에셋과 반사 (reflection) 또는 왜곡 (distortion) 을 제거하는 내성이 뛰어난 반사 방지 코팅으로 구성됩니다. 이것은 완벽하게 선명하고 선명하며 정확한 이미지를 보장합니다. ULTRASTEP 900은 정확한 오버레이 측정을위한 절대 측정 모델을 갖추고 있습니다. 이 장비는 스테퍼 렌즈 (stepper lens) 의 위치를 지속적으로 모니터링하고 이미징 필드의 위치를 정확하게 조정하여 웨이퍼 (wafer) 서피스와 이미지를 정확하게 정렬하도록 설계되었습니다. 900은 원격 작동을 지원하는 Wi-Fi 기능으로 강력하고 안정적입니다. 이 제품은 갑작스런 전원 장애 또는 기타 기계적 위험 (mechanical hazard) 으로부터 장비를 보호하는 다양한 안전 기능으로 설계되었습니다. ULTRASTEP 900 - 모든 기능에 빠르고 쉽게 액세스할 수 있는 정교한 사용자 인터페이스로 설계되었습니다. 시스템은 프로세스 전반에 걸쳐 자세한 지침과 지침을 제공하는 기본 (BIST) 도움말 유닛으로 구성됩니다. 또한 900 은 기존 Fabrication System 및 Software 와 통합하여 기존 운영 라인에 완벽하게 통합할 수 있습니다. 또한 광범위한 모니터링/진단 머신 (monitoring and diagnosis machine) 을 사용하여 이미징 프로세스 및 오류 분석에 대한 자세한 분석을 제공합니다. ULTRASTEP 900은 반도체 생산 라인에 정확하고, 안정적이며, 반복 가능한 이미지를 제공 할 수있는 강력한 도구입니다. 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 기능과 이미징 분야의 정밀 배치를 통해 고급 반도체 제조에 바람직한 자산이다.
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