판매용 중고 SVGL Micrascan MPT #9246179

SVGL MicroScan MPT (MicroScan MPT) 는 프로세스 초기부터 생산성을 줄이고 웨이퍼 처리량을 향상시키도록 설계된 완전 자동화된 웨이퍼 스테퍼입니다. 완벽한 자동화, 고속 및 신뢰성 있는 혼합 제품 처리 기능을 제공합니다. 또한 소프트웨어 (Software) 를 사용하면 리소그래피 애플리케이션의 신속한 실행을 위해 웨이퍼를 정확하게 포지셔닝하고 집중할 수 있습니다. 스테퍼에는 뛰어난 정확도와 성능을 위해 3 개의 코어 축을 가진 이중 축 동작 제어가 있습니다. 기계적 설계는 조절 가능한 스캔 속도와 조절 가능한 해상도를위한 고급 고해상도 아연계 스캔 장비 (Advanced High Resolution Galvanometer Scan Equipment) 로 구성되어 있으며, 정확한 위치 지정 및 웨이퍼 타겟팅이 가능합니다. 광학에는 정밀 CCD 카메라, 고해상도 렌즈, 뛰어난 해상도와 정확도를 제공하는 고급 석판 렌즈가 포함됩니다. MicroScan MPT의 제어 소프트웨어에는 다양한 자동 루틴 테스트 (routine test) 및 피드백 (feedback) 기능이 포함되어 있어 최고 품질의 인쇄물을 지속적으로 정확하게 제어할 수 있습니다. 스텝 모션 (Step Motion), 웨이퍼 정렬 (Wafer Alignment) 및 오류의 세부 출력을 제공하는 다양한 프로덕션 모니터링 기능을 제공합니다. 또한 다양한 데이터 로깅 (data logging) 기능을 통해 성능을 분석하고 잠재적인 문제를 파악할 수 있습니다. 스테퍼는 대형 200mm ~ 300mm 웨이퍼 (wafer) 의 다양한 제품 형식을 지원하며 광범위한 리소그래피 템플릿 라이브러리를 사용합니다. 자동 장치 진단 (Automated Device Diagnostics) 은 모든 장애를 모니터링하여 오류가 신속하게 감지되고 해결됩니다. MicroScan MPT (MicroScan MPT) 는 운영 처리량을 향상시키기 위해 매우 안정적인 운영 및 빠른 주기 시간을 제공하도록 설계되었습니다. 비상시 인력과 장비를 보호하기 위한 강력한 안전 시스템 (긴급 차단 (Emergency Shut-off) 기능 포함) 이 스텝퍼 (Stepper) 에 포함되어 있습니다. 스테퍼의 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 와 간단한 설치 기능을 통해 장비 사용을 쉽게 시작할 수 있습니다. 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit) 를 사용하면 처리 중에 모든 시스템 매개변수를 강력한 구성과 실시간 모니터링할 수 있습니다. 또한 프로세스의 각 단계, 데이터 로깅 (data logging), 기록 아카이빙 (historical archiving) 에서 웨이퍼의 추적성을 위한 현장 추적 (in-situ track-and-trace) 기능이 포함되어 있습니다. 전반적으로 SVGL MicroScan MPT (MicroScan MPT) 는 이기종 프로세스를 위한 강력하고 안정적인 솔루션을 제공하여 처리 시간을 효율적으로 단축하고 인쇄를 매우 정확하게 수행할 수 있습니다. 이 스테퍼는 고해상도, 반복 가능한 결과, 종합적인 진단 기능을 제공하여 고품질 생산성 및 안정적인 운영을 보장합니다.