판매용 중고 SCIVAX Flan-200-U100-4 #9209082

SCIVAX Flan-200-U100-4는 반도체 부품 생산에 사용되는 전문 웨이퍼 스테퍼입니다. 다양한 재료에서 고정밀도, 고성능 패턴을 만들 수있는 다용도 기계입니다. 이 기계는 200mm, 4 인치 웨이퍼 스테이지를 특징으로하며 최대 100 와트의 전력으로 평가됩니다. 레이어 대 레이어 정확도는 1 마이크로 미터 내에 있으며, 스테퍼는 0.4 마이크로 미터까지 고해상도 기능을 제공합니다. 이 기계는 웨이퍼 (wafer) 또는 기판 레이어에 정확한 마이크로 레벨 피쳐와 패턴을 만들도록 설계되었습니다. 또한 높은 종횡비 구조를 패턴 화 할 수 있습니다. 이미지 증폭기 (Image Amplifier) 를 장착하여 처리 중 웨이퍼의 정확한 위치와 탐색을 보장합니다. 광학 시스템은 서브 미크론 정확도로 고속 스캔을 위해 설계되었습니다. 이 기계는 VZP (Variable Shape-Zone Plate) 이미징 시스템을 사용하여 오버레이 정확도를 극대화합니다. 이 스테퍼는 MEMS 장치 제작에서 반도체 장치 포장 및 기판 라우팅에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 고분자, 금속, 세라믹 등 다양한 재료를 사용할 수 있습니다. 얇고 두꺼운 필름으로 잘 작동하며, 건식 에칭을 지원합니다. 스테퍼의 최대 패턴 크기는 200 x 200mm, 최대 노출 속도는 0.4 마이크로 미터/초, 최대 해상도는 0.2 마이크로 미터입니다. 이 스테퍼에는 스팟 사이징 (spot sizing) 및 탐지성 (detectability) 에 대한 결함 검사 도구를 포함하여 여러 가지 고급 분석 도구가 있습니다. 이미지 강도 도구는 이미지가 정확하고 노이즈가 없도록 합니다. 또한, 스테퍼에는 시간에 따라 기계의 정밀도를 유지하는 데 도움이되는 자동 교정 기능이 있습니다. Flan-200-U100-4 (Flan-200-U100-4) 는 고급 웨이퍼 스테퍼로, 다양한 재료에서 다양한 정밀한 마이크로 레벨 패턴을 생성 할 수 있습니다. 많은 반도체 생산 요구 사항에 적합하며, 탁월한 정확성과 성능을 제공합니다.