판매용 중고 SCIVAX Flan-200-U100-4 #9206230
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SCIVAX Flan-200-U100-4는 최대 200mm 직경의 웨이퍼 크기를 처리 할 수있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 스테퍼는 100nm 4:1 감소 이미징 렌즈 시스템을 사용하여 웨이퍼 표면에 미세한 세부 사항을 기록 할 수 있습니다. 매우 정밀한 이미징 암 (Imaging Arm) 과 저열량 (Low Thermal Load) 은 성능과 정확도가 손상되지 않도록 합니다. 기계에는 고속 그래버 (grabber) 와 웨이퍼 정렬을위한 완전 자동 스테이지 (stage) 가 장착되어 있습니다. 여러 웨이퍼를 동시에 처리 할 수도 있습니다. 회전 속도는 전체 회전당 50 ~ 200초 사이에서 조정할 수 있습니다. 또한 최고 품질의 이미징이 가능하도록 조절 가능한 카메라 헤드가 특징입니다. 웨이퍼 스테퍼는 통합 된 반사 방지 코팅 (ARC) 모듈을 특징으로하며, 이는 기판 또는 이미징 요소로 인한 반사를 최소화합니다. 이렇게 하면 이미지가 가능한 한 선명하고 선명하게 표시됩니다. 이 기계 에는 또한 "와퍼 '를 영상 중 에 안전 하게 보관 할 수 있는 고급 진공" 시스템' 이 있다. Flan-200-U100-4 스테퍼에는 라인 길이, 해상도, 반복성 등 필요한 매개변수로 프로그래밍할 수있는 소프트웨어가 내장되어 있습니다. 또한 리토그래피, 사진 촬영, MOSFET 처리, LCD 디스플레이 제작, 전자 용지 디스플레이 등 다양한 응용 프로그램에 맞게 기계를 사용자 정의할 수 있습니다. 스테퍼는 안전성과 신뢰성을 위해 설계되었습니다. 센서와 경보를 장착하여 오류 또는 오작동을 감지합니다. 기계에 문제가 발생하면 "웨이퍼 '가 손상되지 않도록 합니다. 또한 다양한 백업/복구 옵션이 제공되어 안전성을 더욱 향상시킵니다. 전체적으로 SCIVAX Flan-200-U100-4 웨이퍼 스테퍼는 매우 정밀하고 신뢰할 수있는 기계입니다. wafer fabrication, wafer inspection 및 기타 관련 프로세스와 같은 작업에 이상적입니다. 고급 이미징 시스템, 내장형 안전 (Safety) 기능을 통해 모든 제품 라인에 적합한 제품입니다.
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