판매용 중고 SCANLAB intelliSCAN 20 #293658208
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SCANLAB intelliSCAN 20은 마이크로 일렉트로닉스 처리 시스템에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 다양한 고급 (advanced) 기술을 통해 다양한 애플리케이션에 적합합니다. IntelliSCAN 20은 고전적인 3 축 은하계 스캔 시스템을 사용하며, 여기에는 2 개의 은하계 기반 스캐너와 3 번째 선형 모터 구동 스테이지가 포함됩니다. 스캐너는 고속 (high-speed) 및 고정밀도 (high-accuracy) 스텝 크기를 특징으로하며, 선형 스테이지는 웨이퍼의 유연한 위치를 위해 넓은 시야를 제공합니다. 세 축 모두 동시에 이동할 수 있으므로, 높은 처리량 (throughput) 과 웨이퍼 위치를 동적으로 제어할 수 있습니다. SCANLAB intelliSCAN 20에는 10X에서 2000X까지 다양한 배율을 지원하는 다양한 렌즈 옵션이 있습니다. 이를 통해 고해상도 이미징 (high-resolution imaging), 사진 리토그래피 (photolithography) 및 저항 패턴 (resist patterning) 과 같은 프로세스에 이상적입니다. "렌즈 '의 수차 가 낮을수록" 이미징' 과 저항 "패턴화 '의 위치 가 가장 정확 할 수 있다. IntelliSCAN 20은 최대 정확도를 위해 고해상도 포지셔닝을 제공하는 고정밀 8비트 스테퍼 모터를 갖추고 있습니다. 또한 이 모터는 애플리케이션의 특정 요구 사항을 충족할 수 있는 다양한 조정 옵션을 제공합니다 (영문). SCANLAB intelliSCAN 20에는 OverScan, Power Saving, Auto Calibration, Clean Setup 및 Compact Design과 같은 고급 기능이 제공됩니다. 오버 스캔 (OverScan) 을 사용하면 디지털 정렬이 가능해지고 웨이퍼가 변경되면 시스템을 신속하게 재조정할 수 있습니다. 절전 (Power Saving) 기능은 설정된 간격 후에 자동으로 시스템을 절전하여 에너지를 절약합니다. Auto Calibration은 intelliSCAN 20의 작동에서 정확성과 일관성을 보장합니다. Clean Setup은 외부 조정이 필요 없는 낮은 유지 관리 솔루션을 제공합니다. Compact Design을 통해 SCANLAB intelliSCAN 20은 공간을 효율적으로 사용할 수 있으며 경량 벤치 탑 현미경, 고출력 생산과 같은 다른 응용 프로그램에 적합합니다. 전반적으로 intelliSCAN 20은 다양한 마이크로 일렉트로닉스 어플리케이션에 대한 정확한 제어 및 높은 처리량을 제공하는 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 다양한 고급 기능 (Advanced Features) 과 기술을 통해 다양한 환경에서 정확하고 안정적인 운영을 보장합니다.
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